公开(公告)号：DE60111926T2

公开(公告)日：2006-04-20

申请号：DE60111926

申请日：2001-03-20

Applicant: AXCELIS TECH INC

Inventor： BERRY LOUIS ,  CHUNG KYUHA ,  HAN QINGYUAN ,  LIU YOUFAN ,  MOYER SCOTT ,  SPAULDING JOHN ,  WALDFRIED CARLO ,  BRIDGEWATER TODD ,  CHEN WEI

IPC: C01B33/12 ,  C04B41/50 ,  H01L21/312 ,  H01L21/314 ,  H01L21/316

公开(公告)号：DE60111926D1

公开(公告)日：2005-08-18

申请号：DE60111926

申请日：2001-03-20

Applicant: AXCELIS TECH INC

Inventor： BERRY LOUIS ,  CHUNG KYUHA ,  HAN QINGYUAN ,  LIU YOUFAN ,  MOYER SCOTT ,  SPAULDING JOHN ,  WALDFRIED CARLO ,  BRIDGEWATER TODD ,  CHEN WEI

IPC: C01B33/12 ,  H01L21/312 ,  H01L21/314 ,  H01L21/316 ,  C04B41/50