公开(公告)号：JPH09169773A

公开(公告)日：1997-06-30

申请号：JP32166796

申请日：1996-12-02

Applicant: BASF AG

Inventor： HORUGAA FURIIDORITSUHI ,  BERUNTO ROITONAA ,  NORUBERUTO MURONGA ,  RAIMUNTO SHIYUMITO

IPC: C01B33/12 ,  C07F7/04 ,  C23C16/40 ,  C23C16/44 ,  H01L21/316

Abstract: Alkoxy-formoxysilanes of formula (RO)xSi(OCOHO)y are new; in which R = 3-10 carbon (C) alkyl; x = 4-y; y = 1, 2 or 3. PREF. R = tertiary alkyl; x, y = 2.

公开(公告)号：JPH04260602A

公开(公告)日：1992-09-16

申请号：JP26671291

申请日：1991-10-16

Applicant: BASF AG

Inventor： BERUNTO ROITONAA ,  YOOHAN EEBENHETSUHI ,  UDO MAIAA ,  JIIKUMARU RUUKASU ,  JIIKUFURIITO SHIYURAINAA ,  GERUTO TORAIBAA ,  MANFUREETO ERU BUORUFU

IPC: C01B17/66

公开(公告)号：JPH08291183A

公开(公告)日：1996-11-05

申请号：JP9286696

申请日：1996-04-15

Applicant: BASF AG

Inventor： HORUGAA FURIIDORITSUHI ,  HAARARUTO KERAA ,  BERUNTO ROITONAA

IPC: C07F7/12 ,  C07F7/18

公开(公告)号：JPS55116620A

公开(公告)日：1980-09-08

申请号：JP2067680

申请日：1980-02-22

Applicant: BASF AG

Inventor： BERUNTO ROITONAA ,  HANSUUURURIHI SHIYURIMUPAA ,  DEIITAA ROOTO ,  RUUTOBUIHI KURAITONAA ,  HAINRIHI SHIYUPAAN

IPC: C01B33/46 ,  C01B39/02 ,  C01B39/14 ,  C09C3/04 ,  C11D3/12