公开(公告)号：DE2200023A1

公开(公告)日：1973-07-26

申请号：DE2200023

申请日：1972-01-03

Applicant: BASF AG

Inventor： BALZ WERNER DR ,  FALK ROLAND DR ,  SCHEFFEL DIETER ,  WILLMANN PAUL ,  RICHTER VOLKER DIPL-ING ,  WOELLAF JOSEF DIPL-ING

IPC: B05D1/00 ,  G11B5/842 ,  G11B5/84

公开(公告)号：DE3606152A1

公开(公告)日：1987-08-27

申请号：DE3606152

申请日：1986-02-26

Applicant: BASF AG

Inventor： SCHEFFEL DIETER ,  MAURER GERD DR ,  BENDER RAINER DR

IPC: C23F1/08 ,  C23C14/50 ,  H01L21/673

公开(公告)号：RO62460A

公开(公告)日：1977-12-15

申请号：RO7286172

申请日：1972-11-20

Applicant: BASF AG

Inventor： WOELLHAF JOSEF ,  FALK ROLAND ,  SCHEFFEL DIETER ,  RICHER VOLKER ,  BALZ WERNER ,  WILLMAN PAUL

IPC: G11B5/82 ,  B05C11/08 ,  B05D1/00 ,  B05D1/40 ,  G03D5/04 ,  G11B5/842 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304 ,  G11B5/84

公开(公告)号：DE2554692B1

公开(公告)日：1977-03-31

申请号：DE2554692

申请日：1975-12-05

Applicant: BASF AG

Inventor： SCHEFFEL DIETER ,  RICHTER VOLKER DIPL-ING

IPC: B05C11/08 ,  G11B5/842 ,  G11B17/022 ,  G11B17/028 ,  G11B5/84 ,  B05D1/32 ,  B05D5/12

公开(公告)号：CA980639A

公开(公告)日：1975-12-30

申请号：CA156757

申请日：1972-11-15

Applicant: BASF AG

Inventor： WOELLHAF JOSEF ,  BALZ WERNER ,  FALK ROLAND ,  SCHEFFEL DIETER ,  RICHTER VOLKER ,  WILLMANN PAUL

IPC: G11B5/82 ,  B05C11/08 ,  B05D1/00 ,  B05D1/40 ,  G03D5/04 ,  G11B5/842 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304

公开(公告)号：DE2157650A1

公开(公告)日：1973-05-30

申请号：DE2157650

申请日：1971-11-20

Applicant: BASF AG

Inventor： WOELLHAF JOSEF DIPL ING ,  BALZ WERNER DR ,  FALK ROLAND DR ,  SCHEFFEL DIETER ,  RICHTER VOLKER DIPL ING ,  WILLMANN PAUL

IPC: B05D1/00 ,  G11B5/842 ,  G11B5/84