Uso de tensioactivos no iónicos alcoxilados como aditivo en composiciones acuosas de limpieza de membrana

    公开(公告)号:ES2666122T3

    公开(公告)日:2018-05-03

    申请号:ES13731319

    申请日:2013-06-21

    Applicant: BASF SE

    Abstract: El uso de un tensioactivo no iónico alcoxilado como aditivo para una composición acuosa de limpieza de membrana, en el que el tensioactivo tiene un valor de HLBd de desde 9 hasta 12,5 y un grado promedio de ramificación Bs >= 1,5 y en el que cuando X es O, el tensioactivo tiene la siguiente fórmula: **Fórmula** en la que - R es una cadena hidrocarbonada lineal o ramificada C8-C18, - R1, R2 y R3 son independientemente entre sí hidrógeno, metilo, etilo, propilo, isopropilo, o una mezcla de estos, - n tiene un valor de desde 1 hasta 8, - m tiene un valor de desde 1 hasta 8, y - p tiene un valor de desde 0 hasta 8; o en la que cuando X es N, el tensioactivo tiene la siguiente fórmula**Fórmula** en la que - R1, R2 y R3 son independientemente entre sí hidrógeno, metilo, etilo, propilo, isopropilo, o una mezcla de estos, - n tiene un valor de desde 1 hasta 8, - m tiene un valor de desde 1 hasta 8, y - p tiene un valor de desde 0 hasta 8.

    AQUEOUS POLISHING COMPOSITION AND PROCESS FOR CHEMICALLY MECHANICALLY POLISHING SUBSTRATES CONTAINING SILICON OXIDE DIELECTRIC AND POLYSILICON FILMS

    公开(公告)号:SG10201510122PA

    公开(公告)日:2016-01-28

    申请号:SG10201510122P

    申请日:2011-12-07

    Applicant: BASF SE

    Abstract: An aqueous polishing composition comprising (A) abrasive ceria particles and (B) amphiphilic nonionic surfactants selected water-soluble and water-dispersible, linear and branched polyoxyalkylene blockcopolymers of the general formula I: R[(B1)m/(B2)nY]p (I), wherein the indices and the variables have the following meaning: m, n, and p integers≧1; R hydrogen atom or monovalent or polyvalent organic residue, except C5-C20 alkyl groups; (B1) block of oxyethylene monomer units; (B2) block of substituted oxyalkylene monomer units wherein the substituents are selected from two methyl groups, alkyl groups of more than two carbon atoms and cycloalkyl, aryl, alkyl-cycloalkyl, alkyl-aryl, cycloalkyl-aryl and alkyl-cycloalkyl-aryl groups; and Y hydrogen atom or monovalent organic residue, except C5-C20 alkyl groups; with the proviso that when (B) contains more than one block (B1) or (B2) two blocks of the same type are separated by a block of the other type.

    AQUEOUS POLISHING COMPOSITION AND PROCESS FOR CHEMICALLY MECHANICALLY POLISHING SUBSTRATES CONTAINING SILICON OXIDE DIELECTRIC AND POLYSILICON FILMS

    公开(公告)号:SG190334A1

    公开(公告)日:2013-06-28

    申请号:SG2013038492

    申请日:2011-12-07

    Applicant: BASF SE

    Abstract: An aqueous polishing composition comprising (A) abrasive ceria particles and (B) amphiphilic nonionic surfactants selected water-soluble and water-dispersible, linear and branched polyoxyalkylene blockcopolymers of the general formula I: R[(B1)m/(B2)nY]p (I), wherein the indices and the variables have the following meaning: m, n, and p integers ≥ 1; R hydrogen atom or monovalent or polyvalent organic residue, except C5-C20 alkyl groups; (B1) block of oxyethylene monomer units; (B2) block of substituted oxyalkylene monomer units wherein the substituents are selected from two methyl groups, alkyl groups of more than two carbon atoms and cycloalkyl, aryl, alkyl-cycloalkyl, alkyl-aryl, cycloalkyl-aryl and alkyl-cycloalkyl-aryl groups; and Y hydrogen atom or monovalent organic residue, except C5-C20 alkyl groups; with the proviso that when (B) contains more than one block (B1) or (B2) two blocks of the same type are separated by a block of the other type.

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