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公开(公告)号：DE68928548T2
公开(公告)日：1998-04-23
申请号：DE68928548
申请日：1989-09-25
Applicant: BREWER SCIENCE INC
Inventor： LAMB JAMES , BREWER TERRY , MORI J
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/085 , G03F7/09 , H01L21/027
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公开(公告)号：DE68928548D1
公开(公告)日：1998-02-19
申请号：DE68928548
申请日：1989-09-25
Applicant: BREWER SCIENCE INC
Inventor： LAMB JAMES , BREWER TERRY , MORI J
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/085 , G03F7/09 , H01L21/027
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