公开(公告)号：JP2578579B2

公开(公告)日：1997-02-05

申请号：JP15850494

申请日：1994-07-11

Applicant: CANON KK

Inventor： YAMAMOTO SEKINORI ,  OOKAWA SHINKICHI ,  MATSUSHITA KOICHI ,  KAWAI YASUO ,  HIGOMURA MAKOTO ,  KARYA TAKUO

IPC: G01B21/00 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  G12B5/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68

公开(公告)号：JPH0543453B2

公开(公告)日：1993-07-01

申请号：JP6480687

申请日：1987-03-19

Applicant: CANON KK

Inventor： HYOSHI TOYOHIKO ,  IWATA MIKIO ,  WATANABE KAZUO ,  OOKAWA SHINKICHI

IPC: B24B13/01 ,  B24B13/06 ,  B24B21/00

公开(公告)号：JP2587227B2

公开(公告)日：1997-03-05

申请号：JP2488087

申请日：1987-02-06

Applicant: CANON KK

Inventor： MATSUSHITA KOICHI ,  OOKAWA SHINKICHI ,  SUZUKI HIROYUKI

IPC: H01L21/302 ,  C23C14/34 ,  C23C14/56 ,  F16C32/06 ,  F16J15/447 ,  H01L21/3065

公开(公告)号：JP2500259B2

公开(公告)日：1996-05-29

申请号：JP15850294

申请日：1994-07-11

Applicant: CANON KK

Inventor： YAMAMOTO SEKINORI ,  OOKAWA SHINKICHI ,  MATSUSHITA KOICHI ,  KAWAI YASUO ,  HIGOMURA MAKOTO ,  KARYA TAKUO

IPC: G01B21/00 ,  G03F7/20 ,  G12B5/00 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JPH07109821B2

公开(公告)日：1995-11-22

申请号：JP15850194

申请日：1994-07-11

Applicant: CANON KK

Inventor： YAMAMOTO SEKINORI ,  OOKAWA SHINKICHI ,  MATSUSHITA KOICHI ,  KAWAI YASUO ,  HIGOMURA MAKOTO ,  KARYA TAKUO

IPC: G01B21/00 ,  G03F7/20 ,  G12B5/00 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JPH05173B2

公开(公告)日：1993-01-05

申请号：JP6480487

申请日：1987-03-19

Applicant: CANON KK

Inventor： HYOSHI TOYOHIKO ,  IWATA MIKIO ,  WATANABE KAZUO ,  OOKAWA SHINKICHI

IPC: B24B13/06 ,  B24B49/04

公开(公告)号：JP2510881B2

公开(公告)日：1996-06-26

申请号：JP21081488

申请日：1988-08-26

Applicant: CANON KK

Inventor： OOKAWA SHINKICHI ,  KARYA TAKUO

IPC: G12B5/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68

公开(公告)号：JP2500260B2

公开(公告)日：1996-05-29

申请号：JP15850394

申请日：1994-07-11

Applicant: CANON KK

Inventor： YAMAMOTO SEKINORI ,  OOKAWA SHINKICHI ,  MATSUSHITA KOICHI ,  KAWAI YASUO ,  HIGOMURA MAKOTO ,  KARYA TAKUO

IPC: G01B21/00 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  G12B5/00 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP2500258B2

公开(公告)日：1996-05-29

申请号：JP15850094

申请日：1994-07-11

Applicant: CANON KK

Inventor： YAMAMOTO SEKINORI ,  OOKAWA SHINKICHI ,  MATSUSHITA KOICHI ,  KAWAI YASUO ,  HIGOMURA MAKOTO ,  KARYA TAKUO

IPC: G01B21/00 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  G12B5/00 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JPH06306B2

公开(公告)日：1994-01-05

申请号：JP2766288

申请日：1988-02-10

Applicant: CANON KK

Inventor： HYOSHI TOYOHIKO ,  SUZUKI MASANORI ,  WATANABE KAZUO ,  IWATA MIKIO ,  OOKAWA SHINKICHI

IPC: B24B21/16 ,  B24B21/22