公开(公告)号：CN1548946A

公开(公告)日：2004-11-24

申请号：CN03153238.1

申请日：2003-08-07

Applicant: DE&T株式会社

Inventor： 沈在信 ,  金珠焕 ,  李东仁

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明涉及一种用于检查平面基片存在的缺陷的装置，包括：一个位于本体上部的基础部件；一个安装在基础部件上的用于可分离地放置待检基片的检查平台，该检查平台的一端能够围绕一旋转轴转动；一个用于把检查平台转动到需要的角度的转动装置；一个用于把光从检查平台的后面投射到检查平台上的待检基片上的背光装置，从而可以通过在放置基片的检查平台的后面可分开地安装一背光装置，以便把光投射到待检基片的整个表面上，进行宏观或微观观察，从而进行更精确的缺陷确认。

公开(公告)号：CN1288435C

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN03153238.1

申请日：2003-08-07

Applicant: DE&T株式会社

Inventor： 沈在信 ,  金珠焕 ,  李东仁

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明涉及一种用于检查平面基片存在的缺陷的装置，包括：一个位于本体上部的基础部件；一个安装在基础部件上的用于可分离地放置待检基片的检查平台，该检查平台的一端能够围绕一旋转轴转动；一个用于把检查平台转动到需要的角度的转动装置；一个用于把光从检查平台的后面投射到检查平台上的待检基片上的背光装置，从而可以通过在放置基片的检查平台的后面可分开地安装一背光装置，以便把光投射到待检基片的整个表面上，进行宏观或微观观察，从而进行更精确的缺陷确认。