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公开(公告)号：CN1288435C
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN03153238.1
申请日：2003-08-07
Applicant: DE&T株式会社
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明涉及一种用于检查平面基片存在的缺陷的装置，包括：一个位于本体上部的基础部件；一个安装在基础部件上的用于可分离地放置待检基片的检查平台，该检查平台的一端能够围绕一旋转轴转动；一个用于把检查平台转动到需要的角度的转动装置；一个用于把光从检查平台的后面投射到检查平台上的待检基片上的背光装置，从而可以通过在放置基片的检查平台的后面可分开地安装一背光装置，以便把光投射到待检基片的整个表面上，进行宏观或微观观察，从而进行更精确的缺陷确认。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1690695A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200410074286.4
申请日：2004-09-08
Applicant: DE&T株式会社
Abstract: 一种平面显示屏检查装置，用于在平台上校准作为检查对象的不同尺寸的显示屏。所述检查装置包括可在其上放置标准尺寸显示屏的平台，以及分别安装在所述平台的前、后、左、右侧用以沿水平和纵向方向校准所述显示屏的第一和第二校准装置。所述检查装置还包括第四校准装置，其设置在所述平台下方，可上升和下降，并可通过同时对小显示屏的边缘施加压力，沿水平和纵向方向校准具有预定长度和宽度的所述小显示屏，所述小显示屏的长度和宽度之一小于所述标准尺寸显示屏。所述第四校准装置包括在所述小显示屏各边缘处彼此相对并对所述小显示屏边缘施加压力的第四校准部分，以及在装卸所述小显示屏时升降所述第四校准部分的竖直传动部分。
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公开(公告)号：CN1548946A
公开(公告)日：2004-11-24
申请号：CN03153238.1
申请日：2003-08-07
Applicant: DE&T株式会社
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明涉及一种用于检查平面基片存在的缺陷的装置，包括：一个位于本体上部的基础部件；一个安装在基础部件上的用于可分离地放置待检基片的检查平台，该检查平台的一端能够围绕一旋转轴转动；一个用于把检查平台转动到需要的角度的转动装置；一个用于把光从检查平台的后面投射到检查平台上的待检基片上的背光装置，从而可以通过在放置基片的检查平台的后面可分开地安装一背光装置，以便把光投射到待检基片的整个表面上，进行宏观或微观观察，从而进行更精确的缺陷确认。
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公开(公告)号：CN100480686C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200410074286.4
申请日：2004-09-08
Applicant: DE&T株式会社
Abstract: 一种平面显示屏检查装置，用于在平台上校准作为检查对象的不同尺寸的显示屏。所述检查装置包括可在其上放置标准尺寸显示屏的平台，以及分别安装在所述平台的前、后、左、右侧用以沿水平和纵向方向校准所述显示屏的第一和第二校准装置。所述检查装置还包括第四校准装置，其设置在所述平台下方，可上升和下降，并可通过同时对小显示屏的边缘施加压力，沿水平和纵向方向校准具有预定长度和宽度的所述小显示屏，所述小显示屏的长度和宽度之一小于所述标准尺寸显示屏。所述第四校准装置包括在所述小显示屏各边缘处彼此相对并对所述小显示屏边缘施加压力的第四校准部分，以及在装卸所述小显示屏时升降所述第四校准部分的竖直传动部分。
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公开(公告)号：CN1576827A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200310100100.3
申请日：2003-10-08
Applicant: DE&T株式会社
Abstract: 一种基片检查装置中的多用途平台，该平台用于固定、和检查基片的外部缺陷，该平台包括：一个矩形的框架；多个在所述框架上的移位装置，每个移位装置用于相应于待检基片的尺寸移动其位置；以及在每个移位装置上的固定装置，用于固定或释放基片的角部，从而允许通过简单的系统和操作来改变该平台上的基片固定装置的位置，以便将不同尺寸的基片稳定地固定在平台上。
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公开(公告)号：CN100505207C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200310100100.3
申请日：2003-10-08
Applicant: DE&T株式会社
IPC: H01L21/687 , G01N21/88
Abstract: 一种基片检查装置中的多用途平台，该平台用于固定、和检查基片的外部缺陷，该平台包括：一个矩形的框架；多个在所述框架上的移位装置，每个移位装置用于相应于待检基片的尺寸移动其位置；以及在每个移位装置上的固定装置，用于固定或释放基片的角部，从而允许通过简单的系统和操作来改变该平台上的基片固定装置的位置，以便将不同尺寸的基片稳定地固定在平台上。
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