公开(公告)号：ES2801850T3

公开(公告)日：2021-01-14

申请号：ES17822395

申请日：2017-12-08

Applicant: DIAM CONCEPT

Inventor： GICQUEL ALIX ,  DES PORTES FRANÇOIS

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32

Abstract: Reactor modular de deposición asistida por plasma de microondas (1) para la fabricación de diamante de síntesis, comprendiendo dicho reactor: - un generador de microondas (70) configurado para generar microondas cuya frecuencia está comprendida entre 300 MHz y 3000 MHz, - una cavidad resonante (41) determinada, al menos en parte, por las paredes internas cilíndricas (420) de un recinto (400) del reactor, - un sistema de llegada de los gases (10) apto para aportar gases en el seno de la cavidad resonante (41), - un módulo de salida de los gases (60) apto para retirar dichos gases de la cavidad resonante (41), - un módulo de acoplamiento de las ondas (80) apto para transferir las microondas desde el generador de microondas (70) hasta la cavidad resonante (41), al objeto de permitir la formación de un plasma, y - un soporte de crecimiento (51) presente dentro de la cavidad resonante (41), comprendiendo dicho reactor modular al menos tres elementos de modulación, estando dichos elementos de modulación seleccionados de entre: - una corona (450) apta para ser posicionada entre una primera parte de recinto (430) y una segunda parte de recinto (440), al objeto de modificar la forma y/o el volumen de la cavidad resonante (41), y un sistema de juntas (460) que, permitiendo la estanqueidad desde el punto de vista del vacío y la continuidad eléctrica de las paredes del recinto, está dispuesto entre la corona (450) y, respectivamente, la primera parte de recinto (430) y la segunda parte (440) del recinto (400); - un módulo de portasustrato (500) y un cuarto de onda (501), estando dicho módulo de portasustrato dotado de movimiento de traslación vertical y giratorio, estando en contacto con el cuarto de onda (501) e incluyendo al menos un sistema de refrigeración fluida (520); - una bandeja (900) que, dotada de movimiento de traslación vertical, al objeto de modificar la forma y el volumen de la cavidad resonante (41), incluye aberturas pasantes (911) que permiten el paso de los gases; - un módulo de distribución de los gases (100), que incluye: - una placa de distribución de los gases amovible (110) que comprende una superficie interna (111), una superficie externa (112) y una pluralidad de boquillas de distribución de los gases (113) determinantes de canales entre dichas superficies (111, 112) aptos para conducir una corriente de gases, y - un dispositivo de soporte (120) unido a un sistema de refrigeración y apto para albergar la placa de distribución de los gases amovible (110); y - un módulo de control de la refrigeración del sustrato (300), que incluye un dispositivo de inyección de gases de resistencia térmica amovible (330), comprendiendo dicho dispositivo de inyección de gases de resistencia térmica amovible (330) una o varias entradas de gases de resistencia térmica (333) y una o varias salidas de gases de resistencia térmica (331).