公开(公告)号：CN103063881B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201210396453.1

申请日：2012-10-18

Applicant: FEI公司

Inventor： A.R.哈通 ,  C.S.库伊曼

IPC: G01Q30/04

CPC classification number: H01J37/26 ,  G01Q10/00 ,  G01Q30/06 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。

公开(公告)号：CN103063881A

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201210396453.1

申请日：2012-10-18

Applicant: FEI公司

Inventor： A.R.哈通 ,  C.S.库伊曼

IPC: G01Q30/04

CPC classification number: H01J37/26 ,  G01Q10/00 ,  G01Q30/06 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。