公开(公告)号：CN101545874A

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200910130281.1

申请日：2009-03-30

Applicant: FEI公司

Inventor： B·布伊塞

IPC: G01N23/22

CPC classification number: H01J37/023 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及用于在例如电子显微镜中使用的环境室。所述环境室具有孔口(15)，该孔口(15)用于使所述电子显微镜产生的束通过并到达位于所述环境室之内的样品(6)。根据本发明的环境室的特征在于，所述环境室(14)的一部分可使例如背散射电子或X射线之类的二次辐射透过。这使得能够通过置于环境室之外的探测器来探测这个辐射并且因而能够使所述室的结构更简单。

公开(公告)号：CN101545874B

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN200910130281.1

申请日：2009-03-30

Applicant: FEI公司

Inventor： B·布伊塞

IPC: G01N23/22

CPC classification number: H01J37/023 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及用于在例如电子显微镜中使用的环境室。所述环境室具有孔口(15)，该孔口(15)用于使所述电子显微镜产生的束通过并到达位于所述环境室之内的样品(6)。根据本发明的环境室的特征在于，所述环境室(14)的一部分可使例如背散射电子或X射线之类的二次辐射透过。这使得能够通过置于环境室之外的探测器来探测这个辐射并且因而能够使所述室的结构更简单。