公开(公告)号：CN103325650A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201310087623.2

申请日：2013-03-19

Applicant: FEI公司

Inventor： M.W.乌特劳特 ,  S.克罗格 ,  N.W.帕克 ,  A.格劳佩拉 ,  S.张 ,  P.布伦达奇 ,  D.基尼安

IPC: H01J37/244

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/0225 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及用于主动地监测电感耦合等离子体离子源的方法和设备。一种用于主动地监测等离子体源的状况以实现源的调整和控制以及检测等离子体反应室中的不需要的污染物种类的存在的方法和设备。优选实施例包括用于量化等离子体的成分的光谱仪。提供系统控制器，系统控制器基于等离子体的光谱分析来使用反馈控制回路以调节等离子体源的离子组成。该系统还提供基于光谱分析的用于确定等离子体源的清洁何时完成的终点装置。