公开(公告)号：CN103119687A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201180046951.7

申请日：2011-09-30

Applicant: FEI公司

Inventor： S.张

IPC: H01J37/08 ,  H01J27/16 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/3211 ,  H01J2237/0815

Abstract: 本发明公开了一种用于聚焦离子束（FIB）系统的电感耦合等离子体离子源，包括具有原料气输送系统的绝缘等离子体腔，与所述等离子体腔同轴放置并且与所述等离子体腔的外径接近或者与之接触的紧凑射频（RF）天线线圈。在一些实施例中，所述等离子体腔被法拉第屏蔽围绕，以防止天线上的RF电压和等离子体腔内的等离子体之间的电容耦合。使所述高介电强度绝缘管热收缩到用于形成所述天线的导电管或导线的外径上，从而允许对所述天线线圈内的匝的紧密包装。所述绝缘管能够隔离所述天线的不同部分之间以及所述天线和法拉第屏蔽之间的RF电压差。

公开(公告)号：CN103119687B

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201180046951.7

申请日：2011-09-30

Applicant: FEI公司

Inventor： S.张

IPC: H01J37/08 ,  H01J27/16 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/3211 ,  H01J2237/0815

Abstract: 公开了一种用于聚焦离子束（FIB）系统的电感耦合等离子体离子源，包括具有原料气输送系统的绝缘等离子体腔，与所述等离子体腔同轴放置并且与所述等离子体腔的外径接近或者与之接触的紧凑射频（RF）天线线圈。在一些实施例中，所述等离子体腔被法拉第屏蔽围绕，以防止天线上的RF电压和等离子体腔内的等离子体之间的电容耦合。使所述高介电强度绝缘管热收缩到用于形成所述天线的导电管或导线的外径上，从而允许对所述天线线圈内的匝的紧密包装。所述绝缘管能够隔离所述天线的不同部分之间以及所述天线和法拉第屏蔽之间的RF电压差。

公开(公告)号：CN103456588A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310211268.5

申请日：2013-05-31

Applicant: FEI公司

Inventor： T.米勒 ,  S.克罗格 ,  S.张 ,  M.马佐斯 ,  A.格劳佩拉

IPC: H01J37/08

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/026 ,  H01J37/10 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/185 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/31713 ,  H01J2237/31749

Abstract: 申请人已发现，使用等离子体源的离子束系统中由高能离子与中性气体分子之间的电荷交换性相互作用产生的活跃中性粒子到达样本。这些活跃中性粒子产生了离开束冲击点的二次电子。解决这个问题的方法包括在该等离子源下方的多个差分泵送室以减少使这些离子与气体相互作用的机会。

公开(公告)号：CN103325650A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201310087623.2

申请日：2013-03-19

Applicant: FEI公司

Inventor： M.W.乌特劳特 ,  S.克罗格 ,  N.W.帕克 ,  A.格劳佩拉 ,  S.张 ,  P.布伦达奇 ,  D.基尼安

IPC: H01J37/244

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/0225 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及用于主动地监测电感耦合等离子体离子源的方法和设备。一种用于主动地监测等离子体源的状况以实现源的调整和控制以及检测等离子体反应室中的不需要的污染物种类的存在的方法和设备。优选实施例包括用于量化等离子体的成分的光谱仪。提供系统控制器，系统控制器基于等离子体的光谱分析来使用反馈控制回路以调节等离子体源的离子组成。该系统还提供基于光谱分析的用于确定等离子体源的清洁何时完成的终点装置。

公开(公告)号：CN103107055A

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN201210396411.8

申请日：2012-10-18

Applicant: FEI公司

Inventor： T.米勒 ,  S.张

IPC: H01J27/02 ,  H01J27/16 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32651 ,  H01J37/08 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32504 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及用于聚焦射束系统的电感耦合等离子体离子源。一种用于聚焦带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括等离子体室内的导电屏蔽以便减少到等离子体的电容耦合。内部导电屏蔽被偏置电极或被等离子体被保持在与等离子体源基本上相同的电位。内部屏蔽允许等离子体室的外部上的更多种冷却方法。

公开(公告)号：CN103456588B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201310211268.5

申请日：2013-05-31

Applicant: FEI公司

Inventor： T.米勒 ,  S.克罗格 ,  S.张 ,  M.马佐斯 ,  A.格劳佩拉

IPC: H01J37/08

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/026 ,  H01J37/10 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/185 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/31713 ,  H01J2237/31749

Abstract: 申请人已发现，使用等离子体源的离子束系统中由高能离子与中性气体分子之间的电荷交换性相互作用产生的活跃中性粒子到达样本。这些活跃中性粒子产生了离开束冲击点的二次电子。解决这个问题的方法包括在该等离子源下方的多个差分泵送室以减少使这些离子与气体相互作用的机会。