公开(公告)号：CN1715862A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510082199.8

申请日：2005-07-01

Applicant: FEI公司

Inventor： B·布伊泽 ,  M·T·莫伊维泽 ,  M·维利-迪尔曼 ,  S·A·M·门廷克 ,  T·H·J·比肖普斯

IPC: G01N13/10 ,  H01J37/00

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明涉及用于抽空试件的设备。试件(4)放在带有光滑表面(2)的片状物(1)上的空腔(3)中。底板(5)放在此光滑表面(2)上，因而光滑表面(2)与放置在其上的底板(5)一起形成真空密封。上面安装真空柱(6)的底板(5)可在光滑表面(2)上滑动。通过使底板(5)在空腔(4)上面滑动，以几个步骤抽空空腔(4)。在本发明的实施例中，真空柱(6)呈环境扫描电子显微镜的形式。这样，可利用ESEM检查被抽空的试件(4)。

公开(公告)号：CN1715862B

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200510082199.8

申请日：2005-07-01

Applicant: FEI公司

Inventor： B·布伊泽 ,  M·T·莫伊维泽 ,  M·维利-迪尔曼 ,  S·A·M·门廷克 ,  T·H·J·比肖普斯

IPC: G01N13/10 ,  H01J37/00

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明涉及用于抽空试件的设备。试件(4)放在带有光滑表面(2)的片状物(1)上的空腔(3)中。底板(5)放在此光滑表面(2)上，因而光滑表面(2)与放置在其上的底板(5)一起形成真空密封。上面安装真空柱(6)的底板(5)可在光滑表面(2)上滑动。通过使底板(5)在空腔(4)上面滑动，以几个步骤抽空空腔(4)。在本发明的实施例中，真空柱(6)呈环境扫描电子显微镜的形式。这样，可利用ESEM检查被抽空的试件(4)。