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公开(公告)号：CN1715862B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200510082199.8
申请日：2005-07-01
Applicant: FEI公司
Inventor： B·布伊泽 , M·T·莫伊维泽 , M·维利-迪尔曼 , S·A·M·门廷克 , T·H·J·比肖普斯
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/20 , H01J2237/2003 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明涉及用于抽空试件的设备。试件(4)放在带有光滑表面(2)的片状物(1)上的空腔(3)中。底板(5)放在此光滑表面(2)上，因而光滑表面(2)与放置在其上的底板(5)一起形成真空密封。上面安装真空柱(6)的底板(5)可在光滑表面(2)上滑动。通过使底板(5)在空腔(4)上面滑动，以几个步骤抽空空腔(4)。在本发明的实施例中，真空柱(6)呈环境扫描电子显微镜的形式。这样，可利用ESEM检查被抽空的试件(4)。
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公开(公告)号：CN1924553B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200610126647.4
申请日：2006-08-31
Applicant: FEI公司
Inventor： D·J·马斯 , S·A·M·门廷克 , J·J·L·霍里克希 , B·H·弗雷塔格
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/153 , H01J2237/282
Abstract: 本发明涉及一种用于确定电子扫描显微镜中的透镜误差的方法，更具体地涉及一种使得这种透镜误差能被确定的样品。本发明描述了例如立方体氧化镁晶体的应用，所述氧化镁晶体很容易在硅晶片上被生产成所谓的“自组装”晶体。这样的晶体有几乎完美的角和边。即使在有透镜误差存在的情形下，这也能呈现出如同在不存在透镜误差的情况下的清楚印象。这允许在不同的欠焦和过焦平面上良好地重构光束横截面。在该重建的基础上透镜误差能被确定，于是它们能利用校正器被校正。
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公开(公告)号：CN1924553A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610126647.4
申请日：2006-08-31
Applicant: FEI公司
Inventor： D·J·马斯 , S·A·M·门廷克 , J·J·L·霍里克希 , B·H·弗雷塔格
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/153 , H01J2237/282
Abstract: 本发明涉及一种用于确定电子扫描显微镜中的透镜误差的方法，更具体地涉及一种使得这种透镜误差能被确定的样品。本发明描述了例如立方体氧化镁晶体的应用，所述氧化镁晶体很容易在硅晶片上被生产成所谓的“自组装”晶体。这样的晶体有几乎完美的角和边。即使在有透镜误差存在的情形下，这也能呈现出如同在不存在透镜误差的情况下的清楚印象。这允许在不同的欠焦和过焦平面上良好地重构光束横截面。在该重建的基础上透镜误差能被确定，于是它们能利用校正器被校正。
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公开(公告)号：CN1715862A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200510082199.8
申请日：2005-07-01
Applicant: FEI公司
Inventor： B·布伊泽 , M·T·莫伊维泽 , M·维利-迪尔曼 , S·A·M·门廷克 , T·H·J·比肖普斯
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/20 , H01J2237/2003 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明涉及用于抽空试件的设备。试件(4)放在带有光滑表面(2)的片状物(1)上的空腔(3)中。底板(5)放在此光滑表面(2)上，因而光滑表面(2)与放置在其上的底板(5)一起形成真空密封。上面安装真空柱(6)的底板(5)可在光滑表面(2)上滑动。通过使底板(5)在空腔(4)上面滑动，以几个步骤抽空空腔(4)。在本发明的实施例中，真空柱(6)呈环境扫描电子显微镜的形式。这样，可利用ESEM检查被抽空的试件(4)。
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