公开(公告)号：CN105261544B

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201510403896.2

申请日：2015-07-10

Applicant: FEI 公司

Inventor： M.T.奥特坦 ,  A.A.M.科克 ,  M.维海詹

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/2826

Abstract: 一种校准扫描透射带电粒子显微镜的方法，显微镜能够被操作于：非扫描模式，在此模式，射束相对较粗并且检测器在不调用扫描装置的情况下形成图像；或扫描模式，在此模式，所述射束相对较细并且所述检测器积累作为所述射束的扫描位置的函数的图像，方法包括下面的步骤：在标本支架上提供校准标本；在非扫描模式下，使用成像系统的给定配置，使用所述检测器形成校准标本的校准图像；使用所述校准标本的已知尺度并且将它与所述校准图像中的对应尺度进行比较以校准所述检测器的视场的特性尺度；在扫描模式下，在所述检测器的经校准的视场中记录所述射束的射束图案，并且检查所记录的射束图案以获得其几何方面。

公开(公告)号：CN105261544A

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201510403896.2

申请日：2015-07-10

Applicant: FEI公司

Inventor： M.T.奥特坦 ,  A.A.M.科克 ,  M.维海詹

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/2826

Abstract: 一种校准扫描透射带电粒子显微镜的方法，显微镜能够被操作于：非扫描模式，在此模式，射束相对较粗并且检测器在不调用扫描装置的情况下形成图像；或扫描模式，在此模式，所述射束相对较细并且所述检测器积累作为所述射束的扫描位置的函数的图像，方法包括下面的步骤：在标本支架上提供校准标本；在非扫描模式下，使用成像系统的给定配置，使用所述检测器形成校准标本的校准图像；使用所述校准标本的已知尺度并且将它与所述校准图像中的对应尺度进行比较以校准所述检测器的视场的特性尺度；在扫描模式下，在所述检测器的经校准的视场中记录所述射束的射束图案，并且检查所记录的射束图案以获得其几何方面。