公开(公告)号：CN102629540A

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN201210026141.1

申请日：2012-02-07

Applicant: FEI公司

Inventor： B.布伊杰塞 ,  P.C.蒂梅杰 ,  M.P.M.比尔霍夫

IPC: H01J37/00

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/2614

Abstract: 本发明涉及一种用于在透射电子显微镜（TEM）中调整或对准一个或多个光学元件的方法，该TEM（500）配备了用于引导电子射束到样本（508）的物镜（512），并且该TEM示出了衍射平面（514），在该衍射平面中至少聚焦了非散射的电子射束，该TEM配备了用于增强对比度传递函数（CTF）的结构（518），所述结构位于衍射平面中或衍射平面的图像中，该方法包括调整或对准光学元件，其特征在于，通过使非散射电子射束偏转得远离所述结构来防止在所述调整或对准期间用非散射电子对所述结构的照射。用于增强CTF的结构可以例如是相位板、单边带设备或“郁金香”。在本方法的优选实施例中，要被对准的光学元件为相位增强结构本身。

公开(公告)号：CN102629540B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201210026141.1

申请日：2012-02-07

Applicant: FEI公司

Inventor： B.布伊杰塞 ,  P.C.蒂梅杰 ,  M.P.M.比尔霍夫

IPC: H01J37/00

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/2614

Abstract: 本发明涉及一种用于在透射电子显微镜（TEM）中调整或对准一个或多个光学元件的方法，该TEM（500）配备了用于引导电子射束到样本（508）的物镜（512），并且该TEM示出了衍射平面（514），在该衍射平面中至少聚焦了非散射的电子射束，该TEM配备了用于增强对比度传递函数（CTF）的结构（518），所述结构位于衍射平面中或衍射平面的图像中，该方法包括调整或对准光学元件，其特征在于，通过使非散射电子射束偏转得远离所述结构来防止在所述调整或对准期间用非散射电子对所述结构的照射。用于增强CTF的结构可以例如是相位板、单边带设备或“郁金香”。在本方法的优选实施例中，要被对准的光学元件为相位增强结构本身。

公开(公告)号：CN103839743A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201310610534.1

申请日：2013-11-27

Applicant: FEI公司

Inventor： P.波托塞克 ,  M.P.M.比尔霍夫 ,  T.维斯塔维 ,  L.德赖卡克

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G01N23/22 ,  G01N23/223

CPC classification number: H04N7/18 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28

Abstract: 采样样本和在显示器上显示获得的信息的方法包括：用N个重叠子帧的系列在样本上方扫描例如电子的射束，每个子帧的扫描位置不与其它子帧的扫描位置重叠；使用检测器检测响应于由射束对样本的照射而从样本发出的信号；以及在显示器上显示子帧，使得在N个扫描的系列之后，每个像素显示从来自扫描位置的信号得出的信息；特征在于其中在对第一子帧的扫描之后每个像素显示从第一子帧的扫描位置得出的信息；以及其中在对第二子帧的扫描之后每个像素显示在对第一子帧、第二子帧或这两个子帧的扫描期间得出的信息。这导致在样本上方示出更均匀电荷分布的扫描方法，导致例如更少的充电效应，同时即使在扫描第一子帧之后也供给良好可解析图像。