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公开(公告)号：CN102737933B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210107945.4
申请日：2012-04-13
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/153 , H01J2237/1532
Abstract: 本发明涉及TEM的无失真消像散。本发明涉及一种带电粒子装置，该装置配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源（202），在所述束的下游跟随有聚光器光学器件（208）、跟随有样本位置、跟随有物镜（214）、跟随有成像光学器件（216）并且跟随有检测器系统（218，224），其中在物镜与检测器系统之间，第一消像散器（250）被定位用于在将样本（210）成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器（252）被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散，其特征在于第三消像散器（254）定位于物镜与检测器系统之间，因而产生第三自由度用于减少线性失真。本发明还涉及一种使用所述三个消像散器的方法。
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公开(公告)号：CN102629540A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210026141.1
申请日：2012-02-07
Applicant: FEI公司
Inventor： B.布伊杰塞 , P.C.蒂梅杰 , M.P.M.比尔霍夫
IPC: H01J37/00
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/265 , H01J2237/1501 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明涉及一种用于在透射电子显微镜（TEM）中调整或对准一个或多个光学元件的方法，该TEM（500）配备了用于引导电子射束到样本（508）的物镜（512），并且该TEM示出了衍射平面（514），在该衍射平面中至少聚焦了非散射的电子射束，该TEM配备了用于增强对比度传递函数（CTF）的结构（518），所述结构位于衍射平面中或衍射平面的图像中，该方法包括调整或对准光学元件，其特征在于，通过使非散射电子射束偏转得远离所述结构来防止在所述调整或对准期间用非散射电子对所述结构的照射。用于增强CTF的结构可以例如是相位板、单边带设备或“郁金香”。在本方法的优选实施例中，要被对准的光学元件为相位增强结构本身。
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公开(公告)号：CN102629540B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201210026141.1
申请日：2012-02-07
Applicant: FEI公司
Inventor： B.布伊杰塞 , P.C.蒂梅杰 , M.P.M.比尔霍夫
IPC: H01J37/00
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/265 , H01J2237/1501 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明涉及一种用于在透射电子显微镜（TEM）中调整或对准一个或多个光学元件的方法，该TEM（500）配备了用于引导电子射束到样本（508）的物镜（512），并且该TEM示出了衍射平面（514），在该衍射平面中至少聚焦了非散射的电子射束，该TEM配备了用于增强对比度传递函数（CTF）的结构（518），所述结构位于衍射平面中或衍射平面的图像中，该方法包括调整或对准光学元件，其特征在于，通过使非散射电子射束偏转得远离所述结构来防止在所述调整或对准期间用非散射电子对所述结构的照射。用于增强CTF的结构可以例如是相位板、单边带设备或“郁金香”。在本方法的优选实施例中，要被对准的光学元件为相位增强结构本身。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102737933A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210107945.4
申请日：2012-04-13
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/153 , H01J2237/1532
Abstract: 本发明涉及TEM的无失真消像散。本发明涉及一种带电粒子装置，该装置配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源（202），在所述束的下游跟随有聚光器光学器件（208）、跟随有样本位置、跟随有物镜（214）、跟随有成像光学器件（216）并且跟随有检测器系统（218，224），其中在物镜与检测器系统之间，第一消像散器（250）被定位用于在将样本（210）成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器（252）被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散，其特征在于第三消像散器（254）定位于物镜与检测器系统之间，因而产生第三自由度用于减少线性失真。本发明还涉及一种使用所述三个消像散器的方法。
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公开(公告)号：CN102262997A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN201110122317.9
申请日：2011-05-12
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01N23/04 , G01N23/22
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/057 , H01J2237/2802 , H01J2237/2804
Abstract: 本发明涉及同时电子检测。本发明提供用以检测穿过样品的电子的多个检测器。所述检测器优选地在电子穿过棱镜之后检测所述电子，其中所述棱镜根据电子的能量分离电子。随后由不同检测器检测处于不同能量范围内的电子，其中优选地至少其中一个检测器测量所述电子在穿过样品时所损失的能量。本发明的一个实施例提供对于核心损失电子的EELS，而且同时提供来自低损失电子的亮视场STEM信号。
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公开(公告)号：CN102299037B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201110172913.8
申请日：2011-06-24
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/09 , H01J2237/043 , H01J2237/223 , H01J2237/2614 , H01J2237/2802
Abstract: 在TEM的衍射平面中使用的阻挡部件。本发明涉及将被放置在TEM的衍射平面中的阻挡部件。其类似于用于单边带成像的刀边缘，但是仅阻挡在小角度内偏转的电子。结果，根据本发明的TEM的对比度传递函数将与低频下的单边带显微镜的对比度传递函数和用于高频率的正常显微镜的对比度传递函数相等。优选地，被阻挡部件阻挡的最高频率使得没有阻挡部件的显微镜将显示出0.5的CTF。
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公开(公告)号：CN102262997B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201110122317.9
申请日：2011-05-12
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01N23/04 , G01N23/22
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/057 , H01J2237/2802 , H01J2237/2804
Abstract: 本发明涉及同时电子检测。本发明提供用以检测穿过样品的电子的多个检测器。所述检测器优选地在电子穿过棱镜之后检测所述电子，其中所述棱镜根据电子的能量分离电子。随后由不同检测器检测处于不同能量范围内的电子，其中优选地至少其中一个检测器测量所述电子在穿过样品时所损失的能量。本发明的一个实施例提供对于核心损失电子的EELS，而且同时提供来自低损失电子的亮视场STEM信号。
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公开(公告)号：CN102299037A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201110172913.8
申请日：2011-06-24
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/09 , H01J2237/043 , H01J2237/223 , H01J2237/2614 , H01J2237/2802
Abstract: 在TEM的衍射平面中使用的阻挡部件。本发明涉及将被放置在TEM的衍射平面中的阻挡部件。其类似于用于单边带成像的刀边缘，但是仅阻挡在小角度内偏转的电子。结果，根据本发明的TEM的对比度传递函数将与低频下的单边带显微镜的对比度传递函数和用于高频率的正常显微镜的对比度传递函数相等。优选地，被阻挡部件阻挡的最高频率使得没有阻挡部件的显微镜将显示出0.5的CTF。
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