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    Laserverarbeitungsverfahren
    2.
    发明专利
    Laserverarbeitungsverfahren 未知

    公开(公告)号：DE112022006519T5

    公开(公告)日：2025-02-27

    申请号：DE112022006519

    申请日：2022-08-22

    Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

    Inventor： SAKAMOTO TAKESHI ,  SUGIMOTO YO ,  OGIWARA TAKAFUMI ,  KURITA TAKASHI ,  YOSHIMURA RYO

    IPC: H01L21/301 ,  B23K26/364 ,  B23K26/53

    Abstract: Ein Laserverarbeitungsverfahren umfasst: einen Schritt zum Ausbilden einer ersten Nut in einem Objekt entlang einer Linie durch das Bestrahlen des Objekts mit Laserlicht; einen Schritt zum Ausbilden einer zweiten Nut in dem Objekt entlang der Linie durch das Bestrahlen des Objekts mit Laserlicht, wobei die zweite Nut einen Endteil der ersten Nut in der Breitenrichtung der ersten Nut überlappt; und einen Schritt zum Ausbilden eines modifizierten Bereichs in dem Objekt entlang der Linie durch das Bestrahlen des Objekts mit Laserlicht und das Erweitern eines Risses von dem modifizierten Bereich nach dem Ausbilden der zusammengesetzten Nut, die die erste Nut und die zweite Nut umfasst, in dem Objekt.

    Laserbearbeitungsvorrichtung und Laserbearbeitungsverfahren
    3.
    发明专利
    Laserbearbeitungsvorrichtung und Laserbearbeitungsverfahren 未知

    公开(公告)号：DE112022006520T5

    公开(公告)日：2025-02-27

    申请号：DE112022006520

    申请日：2022-08-22

    Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

    Inventor： SAKAMOTO TAKESHI ,  SUGIMOTO YO ,  OGIWARA TAKAFUMI ,  KURITA TAKASHI ,  YOSHIMURA RYO

    IPC: B23K26/067 ,  B23K26/364 ,  H01L21/301

    Abstract: Eine Laserbearbeitungsvorrichtung umfasst eine Trägereinheit, eine Laserlichtquelle, einen räumlichen Lichtmodulator und eine Kondensoreinheit. Ein Modulationsmuster, das auf einer Anzeigeeinheit des räumlichen Lichtmodulators angezeigt wird, enthält ein Verzweigungsmuster zum Verzweigen von Laserlicht in erste verzweigte Laserlichtkomponenten, um eine erste Rille zu bilden, und zweite verzweigte Laserlichtkomponenten, um eine zweite Rille zu bilden. Ein Abstand zwischen der Position des Fokussierungspunkts des ersten verzweigten Laserlichts und der Position des Fokussierungspunkts des zweiten verzweigten Laserlichts nebeneinander in einer Richtung entlang der Linie liegend ist größer als ein Abstand zwischen der Position des Fokussierungspunkts des ersten verzweigten Laserlichts und der Position des Fokussierungspunkts des zweiten verzweigten Laserlichts in der Breitenrichtung der ersten Rille und der zweiten Rille.

    Laserbearbeitungsverfahren und Laserbearbeitungsvorrichtung
    5.
    发明专利
    Laserbearbeitungsverfahren und Laserbearbeitungsvorrichtung 未知

    公开(公告)号：DE112022006540T5

    公开(公告)日：2025-01-23

    申请号：DE112022006540

    申请日：2022-08-22

    Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

    Inventor： SAKAMOTO TAKESHI ,  SUGIMOTO YO ,  OGIWARA TAKAFUMI ,  KURITA TAKASHI ,  YOSHIMURA RYO

    IPC: H01L21/301 ,  B23K26/364 ,  H01L21/304

    Abstract: Verfahren zur Laserbearbeitung mit: einen ersten Schritt des Herstellens eines Wafers mit einem ersten Bereich, in dem eine Oberflächenschicht einer Straße einen isolierenden Film enthält, und einem zweiten Bereich, in dem die Oberflächenschicht einen isolierenden Film und eine Metallstruktur auf dem isolierenden Film enthält; einen zweiten Schritt des Bestrahlens der Straße mit einem vorbestimmten ersten Laserstrahl; und einen dritten Schritt des Bestrahlens der Straße mit einem vorbestimmten zweiten Laserstrahl nach dem zweiten Schritt, wobei der erste Laserstrahl ein Laserstrahl ist, der eine Bearbeitungsenergie zum Entfernen eines Teils des isolierenden Films in dem ersten Bereich hat, um den anderen Teil zu belassen, zum vollständigen Entfernen der Metallstruktur in dem zweiten Bereich und zum Entfernen eines Teils des isolierenden Films in dem zweiten Bereich, um den anderen Teil zu belassen, und wobei der zweite Laserstrahl ein Laserstrahl ist, der eine Bearbeitungsenergie zum vollständigen Entfernen des isolierenden Films in dem ersten Bereich und des isolierenden Films in dem zweiten Bereich nach dem zweiten Schritt hat.

    LASER DEVICE
    8.
    发明公开
    LASER DEVICE 审中-公开
    激光器件

    公开(公告)号：EP2821848A4

    公开(公告)日：2015-11-11

    申请号：EP12869723

    申请日：2012-12-28

    Applicant: UNIV OSAKA ,  HAMAMATSU PHOTONICS KK

    Inventor： MIYANAGA NORIAKI ,  KURITA TAKASHI ,  KAWASHIMA TOSHIYUKI

    IPC: G02F1/39 ,  H01S3/10 ,  H01S5/065

    CPC classification number: H01S3/1106 ,  G02F1/39 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0085 ,  H01S3/0092 ,  H01S3/1307

    Abstract: A laser device 1 demultiplexes seed light L 0 into a plurality of beams of laser light L 1 and then continuously optically amplifies the plurality of beams of the laser light L 1 with an amplifier 14. Therefore, its amplification factor can be set higher than that in the case of amplifying pulsed laser light. When producing multiplexed light L 3 by multiplexing the beams of the amplified laser light L 1 with a diffraction grating 16, respective phases of the beams of the laser light L 1 are controlled such that an output peak of the multiplexed light L 3 repeatedly appears at a converging position P 1 at a predetermined time interval. This produces pulsed laser light at the converging position P 1 from a plurality of beams of laser light L 2 amplified at a high amplification factor. Hence, this laser device 1 can produce pulsed laser light with a high output.

    Laser device
    9.
    发明专利
    Laser device 审中-公开
    激光装置

    公开(公告)号：JP2012078813A

    公开(公告)日：2012-04-19

    申请号：JP2011192954

    申请日：2011-09-05

    Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho ,  Osaka Univ ,  国立大学法人大阪大学 ,  浜松ホトニクス株式会社 ,  財団法人レーザー技術総合研究所

    Inventor： MIYANAGA NORIAKI ,  FUJITA MASAYUKI ,  KURITA TAKASHI ,  KAWASHIMA TOSHIYUKI

    IPC: G02F1/01 ,  H01S3/07 ,  H01S3/10

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser device capable of generating a pulsed laser beam with high output.SOLUTION: Each laser beam Lbeing continuous beam is amplified by a channel amplifier 14 in a laser device 1 and by a slab type solid laser device 44 in a laser device 1A. Therefore, an amplification factor can be set higher comparing to the case of amplifying a pulsed laser beam. In multiplexing each of the laser beams Lamplified in this manner on a condensing position Pof a diffraction grating 16 to generate a multiplexed beam L, the phase of each laser beam Lis controlled such that an output peak (the same pulse time waveform) of the multiplexed beam Lrepeatedly appears at predetermined time intervals on the condensing position P. Consequently, a pulsed laser beam is generated by a plurality of the amplified laser beams Lon the condensing position Pof the diffraction grating 16. Therefore, it becomes possible for this laser device 1 to generate a pulsed laser beam with high output.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供能够产生高输出的脉冲激光束的激光装置。

    解决方案：作为连续光束的每个激光束L 1 由激光装置1中的通道放大器14和激光装置中的平板型固体激光装置44放大 1A。 因此，与放大脉冲激光束的情况相比，放大系数可以设定得更高。 在将衍射光栅16的聚光位置P 1 以这种方式放大的激光束L 2 多路复用光束L 3 ，控制每个激光束L 1 的相位，使得输出峰值（相同脉冲时间 复合光束L 3 的波形以预定的时间间隔重复出现在聚光位置P 1 上。 因此，脉冲激光束由多个放大激光束L 2 在聚光位置P 1 衍射光栅16.因此，该激光装置1可以产生高输出的脉冲激光束。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

    Laser device
    10.
    发明专利
    Laser device 审中-公开
    激光装置

    公开(公告)号：JP2012078812A

    公开(公告)日：2012-04-19

    申请号：JP2011192951

    申请日：2011-09-05

    Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho ,  Osaka Univ ,  国立大学法人大阪大学 ,  浜松ホトニクス株式会社 ,  財団法人レーザー技術総合研究所

    Inventor： MIYANAGA NORIAKI ,  FUJITA MASAYUKI ,  KURITA TAKASHI ,  KAWASHIMA TOSHIYUKI

    IPC: G02F1/01

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser device capable of easily generating a pulsed laser beam with short pulse and high output.SOLUTION: In multiplexing each of a plurality of laser beams Lhaving different frequencies from each other by a diffraction grating 13 to generate a multiplexed beam L, the phase of each laser beam Lis controlled such that an output peak (the same pulse time waveform) of the multiplexed beam Lrepeatedly appears at predetermined time intervals on a condensing position Pof the diffraction grating 13. Consequently, a pulsed laser beam is generated on the condensing position P. This laser device 1 generates a pulsed laser beam by multiplexing a plurality of laser beams Loscillated from a plurality of laser light sources 10. Therefore, by increasing the number of the laser light sources 10 (the number of laser beams Lhaving different frequencies from each other), a pulsed laser beam with short pulse and high output can be easily generated.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供能够容易地产生具有短脉冲和高输出的脉冲激光束的激光装置。 解决方案：通过衍射光栅13将具有不同频率的多个激光束L 1 复用，以产生多路复用光束L 2 ，控制各激光束L 1 的相位，使得复用光束L 1 上以预定的时间间隔重复出现POS =“POST”> 2 。因此，脉冲激光束 冷凝位置P 1 。 该激光装置1通过多路复用从多个激光源10振荡的多个激光束L 1 来产生脉冲激光束。因此，通过增加激光的数量 源10（具有彼此具有不同频率的激光束L 1 ）的数量），可以容易地产生具有短脉冲和高输出的脉冲激光束。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

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