Optisches Modul und Herstellungsverfahren für dasselbe

    公开(公告)号:DE112012002104T5

    公开(公告)日:2014-02-13

    申请号:DE112012002104

    申请日:2012-04-04

    Abstract: Ein optisches Modul weist ein erstes plattenförmiges Element 10 mit einer lichtdurchlässigen optischen Komponente 12 auf, die durch Anwendung von Ätzen auf einen Siliziumbereich 11 gebildet ist, und ein zweites plattenförmiges Element 20 mit lichtreflektierenden optischen Komponenten (Spiegeln 21 bis 24) zum Reflektieren von Licht, das durch die lichtdurchlässige optische Komponente 12 hindurchläuft. Die ersten und zweiten plattenförmigen Elemente 10 und 20 sind miteinander verbunden, und ein optischer Pfad für Licht, das durch die lichtdurchlässige optische Komponente 12 hindurchläuft, ist entlang einer Komponentenausbildungsfläche des ersten plattenförmigen Elements 10 und einer Hauptfläche des zweiten plattenförmigen Elements 20 ausgebildet. Dabei wird ein optisches Modul realisiert, bei dem es möglich ist, die lichtreflektierende optische Komponente und die lichtdurchlässige optische Komponente nahe zueinander anzuordnen, und es möglich ist, die Vorgaben zu erfüllen, selbst in dem Fall, in dem die Vorgaben für die Eigenschaften des Substrats in Abhängigkeit der optischen Komponenten widersprüchlich sind, und ein Herstellungsverfahren für das optische Modul realisiert.

    2.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE69422866T2

    公开(公告)日:2000-06-29

    申请号:DE69422866

    申请日:1994-08-26

    Abstract: Laser light from LD (laser diode) is guided through a fiber to be projected onto a reflector. A receiver detects a return beam of modulated light reflected by the object and outputs a signal reflecting a phase difference between the laser light and the modulation signal. The frequency of the modulation signal is changed based on the signal value so as to finally achieve phase lock. When the phase lock fixes the frequency of the modulation signal, the frequency always corresponds to a distance from LD to the reflector or a group index of a substance filling the optical path. Thus, the distance to the object or the group index of the substance filling the optical path at the time of phase lock can be determined in a simple manner and with a high accuracy, based on the output frequency at the time of phase lock.

    3.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE69028825T2

    公开(公告)日:1997-02-13

    申请号:DE69028825

    申请日:1990-06-20

    Abstract: SUM and CARRY output signals of a first optical half adder are provided to one input terminal of a second optical half adder and an optical latch memory, respectively, and an output signal of the optical latch memory is provided to the other input terminal of the second optical half adder. Input and output of the two optical half adders and optical latch memory are performed through an optical signal. Each optical half adder includes two light-receiving elements each having a symmetrical electrode arrangement in which two Schottky junctions are connected to each other opposite in polarity, and peripheral elements of resistors, a capacitor and an amplifier. The optical latch memory is an optical flip-flop memory in which a high-speed light-receiving element produces an electric signal in response to an input optical signals, and a high-speed light-emitting element produces, in response to the electric signal guided from the light-receiving element, feed-back light to be applied to the light-receiving element and an output optical signal.

    4.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE69028825D1

    公开(公告)日:1996-11-14

    申请号:DE69028825

    申请日:1990-06-20

    Abstract: SUM and CARRY output signals of a first optical half adder are provided to one input terminal of a second optical half adder and an optical latch memory, respectively, and an output signal of the optical latch memory is provided to the other input terminal of the second optical half adder. Input and output of the two optical half adders and optical latch memory are performed through an optical signal. Each optical half adder includes two light-receiving elements each having a symmetrical electrode arrangement in which two Schottky junctions are connected to each other opposite in polarity, and peripheral elements of resistors, a capacitor and an amplifier. The optical latch memory is an optical flip-flop memory in which a high-speed light-receiving element produces an electric signal in response to an input optical signals, and a high-speed light-emitting element produces, in response to the electric signal guided from the light-receiving element, feed-back light to be applied to the light-receiving element and an output optical signal.

    Optisches Modul und Herstellungsverfahren für dasselbe

    公开(公告)号:DE112012002104B4

    公开(公告)日:2019-11-28

    申请号:DE112012002104

    申请日:2012-04-04

    Abstract: Optisches Modul mit:einem ersten plattenförmigen Element (10) mit einer lichtdurchlässigen optischen Komponente (12), die durch Anwendung von Ätzen auf einen Siliziumbereich (11) gebildet ist; undeinem zweiten plattenförmigen Element (20) mit einer lichtreflektierenden optischen Komponente (21, 22, 23, 24) zum Reflektieren von Licht, das durch die lichtdurchlässige optische Komponente (12) hindurchläuft, auf seiner Hauptfläche (20a), wobeidie ersten und zweiten plattenförmigen Elemente (10, 20) miteinander verbunden sind, so dass eine Komponentenausbildungsfläche (10a) des ersten plattenförmigen Elements (10), auf dem die lichtdurchlässige optische Komponente (12) ausgebildet ist, und die Hauptfläche (20a) des zweiten plattenförmigen Elements (20) einander zugewandt sind,ein optischer Pfad für Licht, das durch die lichtdurchlässige optische Komponente (12) hindurchläuft, entlang der Komponentenausbildungsfläche (10a) des ersten plattenförmigen Elements (10) und der Hauptfläche (20a) des zweiten plattenförmigen Elements (20) ausgebildet ist undein spezifischer Widerstand des ersten plattenförmigen Elements (10) höher ist als ein spezifischer Widerstand des zweiten plattenförmigen Elements (20).

    6.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE69422866D1

    公开(公告)日:2000-03-09

    申请号:DE69422866

    申请日:1994-08-26

    Abstract: Laser light from LD (laser diode) is guided through a fiber to be projected onto a reflector. A receiver detects a return beam of modulated light reflected by the object and outputs a signal reflecting a phase difference between the laser light and the modulation signal. The frequency of the modulation signal is changed based on the signal value so as to finally achieve phase lock. When the phase lock fixes the frequency of the modulation signal, the frequency always corresponds to a distance from LD to the reflector or a group index of a substance filling the optical path. Thus, the distance to the object or the group index of the substance filling the optical path at the time of phase lock can be determined in a simple manner and with a high accuracy, based on the output frequency at the time of phase lock.

    7.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE68911781D1

    公开(公告)日:1994-02-10

    申请号:DE68911781

    申请日:1989-07-28

    Abstract: An optical memory circuit comprises two photodetectors, and an intermediate signal conductor for connecting the two photodetectors, wherein the two photodetectors and the signal conductor are connected in series in a closed circuit, and the signal conductor has such capacitance that a time constant of a potential of the signal conductor has such a large value as allows charges to be stored in the signal conductor when an optical write signal is incident on one photodetector whereas allows stored charges to be released from the signal conductor when an optical read signal is incident on the other photodetector.

    Herstellungsverfahren für optisches Bauteil und optisches Bauteil

    公开(公告)号:DE112012002109T5

    公开(公告)日:2014-02-13

    申请号:DE112012002109

    申请日:2012-04-04

    Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen eines optischen lichtdurchlässigen Bauteils umfasst einen ersten Ätzprozess zum Ausbilden eines Vertiefungsabschnitts, indem ein Siliziumbereich eines plattenförmigen Elements geätzt wird, einen thermischen Oxidationsprozess zum Ausbilden einer Siliziumoxidschicht, indem eine innere Seitenoberfläche des Vertiefungsabschnitts thermisch oxidiert wird, und einen Nitridschichtausbildungsprozess zum Ausbilden einer Siliziumnitridschicht, welche die Siliziumoxidschicht bedeckt. Dementsprechend ist es möglich, ein Herstellungsverfahren für ein optisches Bauteil bereitzustellen, welches in der Lage ist, eine gleichmäßige Siliziumoxidschicht auf einer halb-durchlässigen Reflexionsoberfläche, die stark in Bezug auf eine Substratoberfläche geneigt (oder nahezu vertikal) ist, und ein optisches Bauteil, welches durch dieses Verfahren hergestellt ist, bereitzustellen.

    9.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE68911781T2

    公开(公告)日:1994-04-14

    申请号:DE68911781

    申请日:1989-07-28

    Abstract: An optical memory circuit comprises two photodetectors, and an intermediate signal conductor for connecting the two photodetectors, wherein the two photodetectors and the signal conductor are connected in series in a closed circuit, and the signal conductor has such capacitance that a time constant of a potential of the signal conductor has such a large value as allows charges to be stored in the signal conductor when an optical write signal is incident on one photodetector whereas allows stored charges to be released from the signal conductor when an optical read signal is incident on the other photodetector.

    10.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE3939300A1

    公开(公告)日:1990-10-11

    申请号:DE3939300

    申请日:1989-11-28

    Abstract: A plurality of ultra-high speed light receiving elements are provided each of which has two rectifier junctions being connected to each other opposite in polarity and has a substantially symmetrical electrode arrangement. A bias voltage is applied to each of the light receiving elements from one or a plurality of power sources. Electrical signals produced by the light receiving elements in response to input optical pulse signals are superposed on one another to produce one or a plurality of output electrical signals representing a predetermined logic operation with respect to the input optical pulse signals. Depending on the arrangement of its elements, the optical logic operation system functions as an OR circuit, AND circuit, NOT circuit, EXCLUSIVE OR circuit, or half-adder circuit.

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