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公开(公告)号：GB2488653A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：GB201203506
申请日：2010-12-03
Applicant: IBM
Inventor： KHOJASTEH MAHMOUD , TOTIR GEORGE GABRIEL , AFZALIARDAKANI ALI , NUNES RONALD WAYNE
IPC: H01L21/311 , G03F7/40 , G03F7/42
Abstract: A spin-on formulation that is useful in stripping an ion implanted photoresist is provided that includes an aqueous solution of a water soluble polymer containing at least one acidic functional group, and at least one lanthanide metal-containing oxidant. The spin-on formulation is applied to an ion implanted photoresist and baked to form a modified photoresist. The modified photoresist is soluble in aqueous, acid or organic solvents. As such one of the aforementioned solvents can be used to completely strip the ion implanted photoresist as well as any photoresist residue that may be present. A rinse step can follow the stripping of the modified photoresist.
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公开(公告)号：DE112011102090B4
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：DE112011102090
申请日：2011-06-15
Applicant: IBM
Inventor： LUAN BINQUAN , NEWNS DENNIS , POLONSKY STANISLAV , PENG HONGBO , ROSSNAGEL STEPHEN , MARTYNA GLENN JOHN , STOLOVITZKY GUSTAVO ALEJANDRO , HARRER STEFAN , AFZALIARDAKANI ALI
Abstract: Nanofluidische Feldeffekteinheit, aufweisend: einen nanofluidischen Kanal, der eine erste Seite und eine zweite Seite aufweist; einen ersten Satz von Elektroden angrenzend an die erste Seite des nanofluidischen Kanals; einen zweiten Satz von Elektroden angrenzend an die zweite gegenüberliegende Seite des nanofluidischen Kanals; und eine Steuereinheit zum Anlegen eines elektrischen Potentials an eine Elektrode; wobei die Elektroden des ersten Satzes von Elektroden so angeordnet sind, dass, wenn sich ein Fluid mit einem geladenen Molekül in dem nanofluidischen Kanal befindet, durch das Anlegen des elektrischen Potentials an den ersten Satz von Elektroden ein sich räumlich veränderndes elektrisches Feld erzeugt wird, das das geladene Molekül in einem festgelegten Bereich des Kanals einschließt; und wobei die Elektroden des zweiten Satzes von Elektroden so gegenüber dem ersten Satz von Elektroden angeordnet sind, dass durch Anlegen des elektrischen Potentials an den zweiten Satz von Elektroden relativ zu dem an den ersten Satz von Elektroden angelegten elektrischen ...
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公开(公告)号：DE112011102090T5
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：DE112011102090
申请日：2011-06-15
Applicant: IBM
Inventor： LUAN BINQUAN , NEWNS DENNIS , POLONSKY STANISLAV , PENG HONGBO , ROSSNAGEL STEPHEN , MARTYNA GLENN JOHN , STOLOVITZKY GUSTAVO ALEJANDRO , HARRER STEFAN , AFZALIARDAKANI ALI
Abstract: Eine nanofluidische Feldeffekteinheit weist einen Kanal, der eine erste Seite und eine zweite Seite, einen ersten Satz von Elektroden angrenzend an die erste Seite, einen zweiten Satz von Elektroden angrenzend an die zweite Seite, eine Steuereinheit zum Anlegen elektrischer Potentiale an die Elektroden und ein Fluid in dem Kanal auf, das ein geladenes Molekül enthält. Der erste Satz von Elektroden ist so angeordnet, dass durch das Anlegen des elektrischen Potentials ein sich räumlich veränderndes elektrisches Feld erzeugt wird, das ein geladenes Molekül in einem festgelegten Bereich des Kanals einschließt. Der zweite Satz von Elektroden ist so angeordnet, dass durch das Anlegen von elektrischen Potentialen relativ zu dem an den ersten Satz von Elektroden angelegten elektrischen Potentialen ein elektrisches Feld erzeugt wird, das das geladene Molekül in einem Bereich einschließt, der von der zweiten Seite des Kanals entfernt ist.
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