公开(公告)号：EP1573808A4

公开(公告)日：2009-12-09

申请号：EP02799293

申请日：2002-12-20

Applicant: IBM

Inventor： ALLEN ROBERT J ,  COHN JOHN M ,  HABITZ PETER A ,  LEIPOLD WILLIAM ,  WEMPLE IVAN ,  ZUCHOWSKI PAUL S

IPC: H01L23/48 ,  G06F9/45 ,  G06F13/00 ,  G06F17/50 ,  H01L21/321 ,  H01L23/52 ,  H01L23/528 ,  H01L23/535 ,  H01L27/02

CPC classification number: G06F17/5068 ,  H01L21/3212 ,  H01L27/0207

公开(公告)号：JP2008171406A

公开(公告)日：2008-07-24

申请号：JP2007313627

申请日：2007-12-04

Applicant: Internatl Business Mach Corp ,  インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションInternational Business Maschines Corporation

Inventor： MERVYN YEE-MIN TAN ,  JASON D HIBBELER ,  GUZOWSKI MATTHEW T ,  PAPADOPOULOU EVANTHIA ,  WALKER ROBERT F ,  ALLEN ROBERT J ,  MCCULLEN KEVIN W ,  SARAH C BRAASCH ,  MAYNARD DANIEL N

IPC: G06F17/50 ,  H01L21/82

CPC classification number: G06F17/5068

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a method, a system and a computer program for providing information for correlating the edges of a layout shape to a critical area of design and defects so that a designer can improve the sensitivity of design to various types of faults.
SOLUTION: The method, the apparatus and the computer program for visually indicating interaction between one or more edges of a design that contribute a pattern of a determined critical area are provided.
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：为了获得用于提供用于将布局形状的边缘与设计和缺陷的关键区域相关联的信息的方法，系统和计算机程序，使得设计者可以将设计的灵敏度提高到各种 故障类型 提供了用于可视地指示有助于确定的关键区域的图案的设计的一个或多个边缘之间的交互的方法，设备和计算机程序。 版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

公开(公告)号：AU2002364218A1

公开(公告)日：2004-07-22

申请号：AU2002364218

申请日：2002-12-20

Applicant: IBM

Inventor： COHN JOHN M ,  HABITZ PETER A ,  LEIPOLD WILLIAM ,  WEMPLE IVAN ,  ZUCHOWSKI PAUL S ,  ALLEN ROBERT J

IPC: G06F9/45 ,  G06F13/00 ,  G06F17/50 ,  H01L21/321 ,  H01L23/48 ,  H01L23/52 ,  H01L23/528 ,  H01L23/535 ,  H01L27/02