公开(公告)号：JPS62219943A

公开(公告)日：1987-09-28

申请号：JP200787

申请日：1987-01-09

Applicant: IBM

Inventor： ANSONII JIYON DARI ,  SEIKI OGURA ,  YAKOBU RAIZUMAN ,  NIBUO ROBUDO

IPC: H01L21/76 ,  H01L21/762

公开(公告)号：JPS62235758A

公开(公告)日：1987-10-15

申请号：JP200587

申请日：1987-01-09

Applicant: IBM

Inventor： KARANAMU BARASABURAMANYAMU ,  ANSONII JIYON DARI ,  YAKOBU RAIZUMAN ,  SEIKI OGURA

IPC: H01L21/3205 ,  G03F7/09 ,  H01L21/027 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/768