公开(公告)号：DE112020004837T5

公开(公告)日：2022-07-07

申请号：DE112020004837

申请日：2020-09-09

Applicant: IBM

Inventor： PHAN DZUNG TIEN ,  BASEMAN ROBERT ,  MURALIDHAR RAMACHANDRAN ,  TIPU FATEH ,  NGUYEN NAM

IPC: H01L21/66 ,  G07C3/14 ,  H01L21/822

Abstract: Ein Verfahren zur Prozesssteuerung unter Verwendung von prädiktivem Long-Short-Term-Memory umfasst ein Erhalten historischer Nachprozess-Messungen, die an vorherigen Produkten des Herstellungsprozesses vorgenommen wurden; Erhalten historischer Inprozess-Messungen, die an vorherigen Werkstücken während des Herstellungsprozesses vorgenommen wurden; Trainieren eines neuronalen Netzes, um jede der historischen Nachprozess-Messungen als Reaktion auf die zugehörigen historischen Inprozess-Messungen und vorangegangene historische Nachprozess-Messungen vorherzusagen; Erhalten gegenwärtiger Inprozess-Messungen an einem gegenwärtigen Werkstück während des Herstellungsprozesses; Vorhersagen einer zukünftigen Nachprozess-Messung für das gegenwärtige Werkstück durch Bereitstellen der gegenwärtigen Inprozess-Messungen und der historischen Nachprozess-Messungen als Eingaben für das neuronale Netz; und Anpassen mindestens einer steuerbaren Variablen des Herstellungsprozesses als Reaktion auf die Vorhersage der zukünftigen Nachprozess-Messung.