公开(公告)号：DE112020004837T5

公开(公告)日：2022-07-07

申请号：DE112020004837

申请日：2020-09-09

Applicant: IBM

Inventor： PHAN DZUNG TIEN ,  BASEMAN ROBERT ,  MURALIDHAR RAMACHANDRAN ,  TIPU FATEH ,  NGUYEN NAM

IPC: H01L21/66 ,  G07C3/14 ,  H01L21/822

Abstract: Ein Verfahren zur Prozesssteuerung unter Verwendung von prädiktivem Long-Short-Term-Memory umfasst ein Erhalten historischer Nachprozess-Messungen, die an vorherigen Produkten des Herstellungsprozesses vorgenommen wurden; Erhalten historischer Inprozess-Messungen, die an vorherigen Werkstücken während des Herstellungsprozesses vorgenommen wurden; Trainieren eines neuronalen Netzes, um jede der historischen Nachprozess-Messungen als Reaktion auf die zugehörigen historischen Inprozess-Messungen und vorangegangene historische Nachprozess-Messungen vorherzusagen; Erhalten gegenwärtiger Inprozess-Messungen an einem gegenwärtigen Werkstück während des Herstellungsprozesses; Vorhersagen einer zukünftigen Nachprozess-Messung für das gegenwärtige Werkstück durch Bereitstellen der gegenwärtigen Inprozess-Messungen und der historischen Nachprozess-Messungen als Eingaben für das neuronale Netz; und Anpassen mindestens einer steuerbaren Variablen des Herstellungsprozesses als Reaktion auf die Vorhersage der zukünftigen Nachprozess-Messung.

公开(公告)号：DE112020004199T5

公开(公告)日：2022-05-19

申请号：DE112020004199

申请日：2020-10-14

Applicant: IBM

Inventor： PHAN DZUNG TIEN ,  BASEMAN ROBERT JEFFREY ,  TIPU FATEH ALI ,  NGUYEN NAM ,  MURALIDHAR RAMACHANDRAN

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/822

Abstract: Ein Verfahren zum Verbessern von mindestens entweder einer Qualität oder einer Ausbeute eines physischen Prozessen weist auf: Erhalten von Werten aus jeweiligen Leistungen des physischen Prozesses für eine Mehrzahl von Variablen, die dem physischen Prozess zugehörig sind; Bestimmen von mindestens einem Gaußschen Mischungsmodell (GMM), das die Werte für die Variablen für die Leistungen des physischen Prozesses darstellt; Berechnen, mindestens teilweise auf Grundlage des mindestens einen GMMs, von mindestens einem Anomalie-Score für mindestens eine der Variablen für mindestens eine der Leistungen des physischen Prozesses; Identifizieren, auf Grundlage des mindestens einen Anomalie-Scores, der mindestens einen der Leistungen des physischen Prozesses als einen Ausreißer; und Modifizieren, mindestens teilweise auf Grundlage der Ausreißer-Identifizierung, der mindestens einen der Variablen für eine oder mehrere nachfolgende Leistungen des physischen Prozesses.