公开(公告)号：DE3780915D1

公开(公告)日：1992-09-10

申请号：DE3780915

申请日：1987-11-17

Applicant: IBM

Inventor： BLACK VINCENT JOSEPH ,  CHARSKY RONALD STEPHEN ,  OLSON LEONARD THEODORE

IPC: H01L23/52 ,  H01L23/538 ,  H01L23/64 ,  H01L25/04 ,  H01L25/18 ,  H05K1/18 ,  H01L23/58 ,  H01L23/36

公开(公告)号：DE3780915T2

公开(公告)日：1993-03-11

申请号：DE3780915

申请日：1987-11-17

Applicant: IBM

Inventor： BLACK VINCENT JOSEPH ,  CHARSKY RONALD STEPHEN ,  OLSON LEONARD THEODORE

IPC: H01L23/52 ,  H01L23/538 ,  H01L23/64 ,  H01L25/04 ,  H01L25/18 ,  H05K1/18 ,  H01L23/58 ,  H01L23/36

公开(公告)号：DE68914059T2

公开(公告)日：1994-10-20

申请号：DE68914059

申请日：1989-07-01

Applicant: IBM

Inventor： CHARSKY RONALD STEPHEN ,  OLSON LEONARD THEODORE ,  PAGNANI DAVID PETER

IPC: H05K9/00 ,  H01L23/14 ,  H01L23/64 ,  H05K1/00 ,  H05K1/02 ,  H05K1/03 ,  H05K3/46

公开(公告)号：DE68914059D1

公开(公告)日：1994-04-28

申请号：DE68914059

申请日：1989-07-01

Applicant: IBM

Inventor： CHARSKY RONALD STEPHEN ,  OLSON LEONARD THEODORE ,  PAGNANI DAVID PETER

IPC: H05K9/00 ,  H01L23/14 ,  H01L23/64 ,  H05K1/00 ,  H05K1/02 ,  H05K1/03 ,  H05K3/46

公开(公告)号：DE2861769D1

公开(公告)日：1982-06-09

申请号：DE2861769

申请日：1978-11-27

Applicant: IBM

Inventor： CHARSKY RONALD STEPHEN ,  FLAMHOLZ ALEXANDER LEON

IPC: G01B11/00 ,  G03F9/00 ,  G01B11/27 ,  G05D3/12 ,  G03B41/00

Abstract: A system for measuring the lateral displacement between edges located on two spaced apart objects, with a precision in the order of 1 microinch, generates and analyses the diffraction pattern produced by the physical edge on one object and the aerial image of the edge on the other object. The system can be used for the alignment of the objects or the comparison of patterns located on the objects.

公开(公告)号：DE2458807A1

公开(公告)日：1975-07-31

申请号：DE2458807

申请日：1974-12-12

Applicant: IBM

Inventor： CHARSKY RONALD STEPHEN ,  CONN GILBERT EUGENE ,  FLAMHOLZ ALEXANDER LEON ,  YOUNG HAROLD JAMES

IPC: G01B11/02 ,  G01B11/08 ,  G01B11/14 ,  G03F7/20 ,  G01B11/00