公开(公告)号：DE69504252T2

公开(公告)日：1999-04-22

申请号：DE69504252

申请日：1995-06-09

Applicant: IBM

Inventor： FAHEY PAUL MARTIN ,  MORIKADO MUTSUO ,  HAMMERL ERWIN ,  HO HERBERT LEI

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/76 ,  H01L21/762 ,  H01L21/763

公开(公告)号：DE69504252D1

公开(公告)日：1998-10-01

申请号：DE69504252

申请日：1995-06-09

Applicant: IBM

Inventor： FAHEY PAUL MARTIN ,  MORIKADO MUTSUO ,  HAMMERL ERWIN ,  HO HERBERT LEI

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/76 ,  H01L21/762 ,  H01L21/763