公开(公告)号：US3451912A

公开(公告)日：1969-06-24

申请号：US3451912D

申请日：1966-07-15

Applicant: IBM

Inventor： HEURLE FRANCOIS M D ,  ESAKI LEO ,  SEKI HAJIME

IPC: C23C14/16 ,  H01L21/00 ,  H01L29/00 ,  C23C15/00 ,  H01L5/00

CPC classification number: H01L21/00 ,  C23C14/165 ,  H01L29/00

公开(公告)号：CA906678A

公开(公告)日：1972-08-01

申请号：CA906678D

Applicant: IBM

Inventor： HEURLE FRANCOIS M D ,  CHAUDHARI PRAVEEN ,  GANGULEE AMITAVA

公开(公告)号：CA831693A

公开(公告)日：1970-01-06

申请号：CA831693D

Applicant: IBM

Inventor： ESAKI LEO ,  HEURLE FRANCOIS M D ,  SEKI HAJIME