公开(公告)号：JPS5239377A

公开(公告)日：1977-03-26

申请号：JP9327776

申请日：1976-08-06

Applicant: IBM

Inventor： JIYOAKIMU BAAGON ,  EDOWAADO GIPUSUTEIN ,  HIROYUKI HIROOKA

IPC: G03F7/038 ,  C08F8/32 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JPS5258604A

公开(公告)日：1977-05-14

申请号：JP12634976

申请日：1976-10-22

Applicant: IBM

Inventor： HIROYUKI HIROOKA

IPC: G03G13/26 ,  G03F7/20 ,  G03G5/00 ,  G03G13/28 ,  H01J37/317 ,  H01L21/027