公开(公告)号：JPS5239377A

公开(公告)日：1977-03-26

申请号：JP9327776

申请日：1976-08-06

Applicant: IBM

Inventor： JIYOAKIMU BAAGON ,  EDOWAADO GIPUSUTEIN ,  HIROYUKI HIROOKA

IPC: G03F7/038 ,  C08F8/32 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JPS58115435A

公开(公告)日：1983-07-09

申请号：JP17650182

申请日：1982-10-08

Applicant: IBM

Inventor： JIYOAKIMU BAAGON ,  HIROYUKI HIRAOKA ,  ROORENSU UIRIAMU UERUSHIYU JIY

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/26 ,  G03F7/38 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JPS5294392A

公开(公告)日：1977-08-08

申请号：JP15436776

申请日：1976-12-23

Applicant: IBM

Inventor： JIYOAKIMU BAAGON

IPC: C08F2/00 ,  C08F2/50 ,  C08F20/42