公开(公告)号：DE3779556D1

公开(公告)日：1992-07-09

申请号：DE3779556

申请日：1987-10-13

Applicant: IBM

Inventor： HOFMANN KARL ,  RUBLOFF GARY WAYNE ,  YOUNG DONALD REEDER

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/28 ,  H01L21/316 ,  H01L29/78 ,  C30B33/00

公开(公告)号：DE3779556T2

公开(公告)日：1993-01-28

申请号：DE3779556

申请日：1987-10-13

Applicant: IBM

Inventor： HOFMANN KARL ,  RUBLOFF GARY WAYNE ,  YOUNG DONALD REEDER

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/28 ,  H01L21/316 ,  H01L29/78 ,  C30B33/00