公开(公告)号：DE2966452D1

公开(公告)日：1984-01-05

申请号：DE2966452

申请日：1979-12-04

Applicant: IBM

Inventor： CROWDER BILLY LEE ,  GAENSSLEN FRITZ HEINRICH ,  JAEGER RICHARD CHARLES

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/265 ,  H01L29/10 ,  H01L29/167

公开(公告)号：IT1164542B

公开(公告)日：1987-04-15

申请号：IT2813679

申请日：1979-12-18

Applicant: IBM

Inventor： CROWDER BILLY LEE ,  GAENSSLEN FRITZ HEINRICH ,  JAEGER RICHARD CHARLES

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/265 ,  H01L29/10 ,  H01L29/167 ,  H01L