公开(公告)号：AU609493B2

公开(公告)日：1991-05-02

申请号：AU1850388

申请日：1988-06-29

Applicant: IBM

Inventor： BEACH DAVID BRUCE ,  JASINSKI JOSEPH MARTIN

IPC: C23C16/06 ,  C23C16/18 ,  C23C16/44 ,  H01L21/285 ,  H01L21/3205 ,  C22F1/057 ,  C22F1/08 ,  C23C16/46 ,  C23C16/56

公开(公告)号：DE3868724D1

公开(公告)日：1992-04-09

申请号：DE3868724

申请日：1988-06-14

Applicant: IBM

Inventor： BEACH DAVID BRUCE ,  JASINSKI JOSEPH MARTIN

IPC: C23C16/06 ,  C23C16/18 ,  C23C16/44 ,  H01L21/285 ,  H01L21/3205

公开(公告)号：DE3770540D1

公开(公告)日：1991-07-11

申请号：DE3770540

申请日：1987-07-21

Applicant: IBM

Inventor： JASINSKI JOSEPH MARTIN ,  MEYERSON BERNARD STEELE ,  SCOTT BRUCE ALBERT

IPC: H01L21/285 ,  C23C16/32 ,  C23C16/42 ,  G01Q30/12 ,  G01Q30/16 ,  G01Q70/00 ,  H01L21/28 ,  H01L21/31