公开(公告)号：US3419956A

公开(公告)日：1969-01-07

申请号：US52227866

申请日：1966-01-21

Applicant: IBM

Inventor： KREN JOHN G ,  JOSEPH REGH ,  SETO DAVID K

IPC: C23F1/02 ,  H01L21/00 ,  H01L21/762

CPC classification number: H01L21/76297 ,  H01L21/00 ,  Y10S148/051 ,  Y10S148/085 ,  Y10S438/928 ,  Y10S438/977

公开(公告)号：CH523972A

公开(公告)日：1972-06-15

申请号：CH271170

申请日：1970-02-25

Applicant: IBM

Inventor： JOSEPH REGH ,  GENE AVONNE SILVEY

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/10 ,  C23F3/00 ,  C23F3/06 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  B24B1/00 ,  B24B29/00

公开(公告)号：CH451326A

公开(公告)日：1968-05-15

申请号：CH88067

申请日：1967-01-20

Applicant: IBM

Inventor： JOHN GEORGE KREN ,  JOSEPH REGH ,  DAVID KENROKU SETO

IPC: C23F1/02 ,  H01L21/00 ,  H01L21/762 ,  H01L1/16 ,  H01L7/00