公开(公告)号：US3419956A

公开(公告)日：1969-01-07

申请号：US52227866

申请日：1966-01-21

Applicant: IBM

Inventor： KREN JOHN G ,  JOSEPH REGH ,  SETO DAVID K

IPC: C23F1/02 ,  H01L21/00 ,  H01L21/762

CPC classification number: H01L21/76297 ,  H01L21/00 ,  Y10S148/051 ,  Y10S148/085 ,  Y10S438/928 ,  Y10S438/977

公开(公告)号：CA851395A

公开(公告)日：1970-09-08

申请号：CA851395D

Applicant: IBM

Inventor： SETO DAVID K ,  REGH JOSEPH ,  KREN JOHN G