公开(公告)号：DE3880051D1

公开(公告)日：1993-05-13

申请号：DE3880051

申请日：1988-07-12

Applicant: IBM

Inventor： COTE WILLIAM J ,  KAANTA CARTER W GRANDVIEW ROAD ,  LEACH MICHAEL A ,  PAULSEN JAMES K STEAM MILL ROA

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L21/90

公开(公告)号：DE3880051T2

公开(公告)日：1993-10-28

申请号：DE3880051

申请日：1988-07-12

Applicant: IBM

Inventor： COTE WILLIAM J ,  KAANTA CARTER W GRANDVIEW ROAD ,  LEACH MICHAEL A ,  PAULSEN JAMES K STEAM MILL ROA

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L21/90