公开(公告)号：DE3785292T2

公开(公告)日：1993-10-28

申请号：DE3785292

申请日：1987-09-18

Applicant: IBM

Inventor： KIRCH STEVEN JAMES ,  LANKARD JOHN ROBERT ,  RITSKO JOHN HAMES ,  SMITH KURT ALAN ,  SPEIDELL JAMES LOUIS ,  YEH JAMES TIEN-CHENG

IPC: G03F1/24 ,  G03F1/58 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  G03F1/00

公开(公告)号：DE3785292D1

公开(公告)日：1993-05-13

申请号：DE3785292

申请日：1987-09-18

Applicant: IBM

Inventor： KIRCH STEVEN JAMES ,  LANKARD JOHN ROBERT ,  RITSKO JOHN HAMES ,  SMITH KURT ALAN ,  SPEIDELL JAMES LOUIS ,  YEH JAMES TIEN-CHENG

IPC: G03F1/24 ,  G03F1/58 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  G03F1/00