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公开(公告)号：SE7612155A
公开(公告)日：1977-05-06
申请号：SE7612155
申请日：1976-11-02
Applicant: IBM
Inventor： KO W-C , SAWATZKY E
IPC: G01R19/08 , G01Q30/02 , G01R31/302 , G01T1/29 , G21K5/04 , H01J37/04 , H01J37/244 , H01J37/317 , H01L21/265 , H01J37/02
CPC classification number: G01T1/29 , H01J37/244 , H01J37/3171 , H01J2237/2441 , H01J2237/24507
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公开(公告)号：SE406839B
公开(公告)日：1979-02-26
申请号：SE7612155
申请日：1976-11-02
Applicant: IBM
Inventor： KO W-C , SAWATZKY E
IPC: G01R19/08 , G01Q30/02 , G01R31/302 , G01T1/29 , G21K5/04 , H01J37/04 , H01J37/244 , H01J37/317 , H01L21/265 , H01J37/02 , H01J37/30
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公开(公告)号：SE7612155L
公开(公告)日：1977-05-06
申请号：SE7612155
申请日：1976-11-02
Applicant: IBM
Inventor： KO W-C , SAWATZKY E
IPC: G01R19/08 , G01Q30/02 , G01R31/302 , G01T1/29 , G21K5/04 , H01J37/04 , H01J37/244 , H01J37/317 , H01L21/265 , H01J37/02
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