Patent search ap:("IBM") AND inv:"LOUNSBURY JOHN BALDWIN" Page 1

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发明专利
未知

公开(公告)号：DE2410880A1

公开(公告)日：1974-09-19

申请号：DE2410880

申请日：1974-03-07

Applicant: IBM

Inventor： KAPLAN LEON H , LOUNSBURY JOHN BALDWIN , ZIMMERMAN STEVEN MICHAEL

IPC: G03F7/039 , G03F7/022 , G03F7/038 , G03F7/085 , H01L21/027 , G03F7/00

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