公开(公告)号：DE3788564T2

公开(公告)日：1994-06-30

申请号：DE3788564

申请日：1987-10-20

Applicant: IBM

Inventor： BABU SURYADEVARA V ,  JONES GERALD WALTER ,  LU NENG-HSING DR

IPC: C23C18/20 ,  C23C18/22 ,  C23C18/30 ,  H05K3/18 ,  H05K3/38

公开(公告)号：DE3788564D1

公开(公告)日：1994-02-03

申请号：DE3788564

申请日：1987-10-20

Applicant: IBM

Inventor： BABU SURYADEVARA V ,  JONES GERALD WALTER ,  LU NENG-HSING DR

IPC: C23C18/20 ,  C23C18/22 ,  C23C18/30 ,  H05K3/18 ,  H05K3/38