公开(公告)号：DE3378709D1

公开(公告)日：1989-01-19

申请号：DE3378709

申请日：1983-08-23

Applicant: IBM

Inventor： BROWN WILLIAM WALTER ,  DAHLKE GERHARD PAUL ,  LUPUL FRANCIS THEODORE

IPC: C23F4/00 ,  C23C14/34 ,  C23C14/50 ,  F16J15/43 ,  H01J37/18 ,  H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/203 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01J37/30

公开(公告)号：DE3583056D1

公开(公告)日：1991-07-11

申请号：DE3583056

申请日：1985-03-11

Applicant: IBM

Inventor： BROWN JR ,  CURRY WAYNE JACKSON ,  DAHLKE GERHARD P ,  LUPUL FRANCIS THEODORE ,  TOTTA PAUL ANTHONY

IPC: H01L21/68 ,  C23C14/50 ,  H01L21/203 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H05K13/00 ,  H05K13/02