公开(公告)号：DE69103054T2

公开(公告)日：1995-03-09

申请号：DE69103054

申请日：1991-01-31

Applicant: IBM

Inventor： CUOMO JEROME JOHN ,  GUARNIERI CHARLES RICHARD ,  MACHLIN EUGENE SOLOMON ,  ROY RONNEN ANDREW ,  YEE DENNIS SEK-ON

IPC: C01B13/14 ,  C01G1/00 ,  C01G3/00 ,  C04B35/00 ,  C04B35/45 ,  C30B29/22 ,  H01B12/02 ,  H01B13/00 ,  H01L39/24 ,  H01B12/06 ,  C04B35/50

公开(公告)号：DE69103054D1

公开(公告)日：1994-09-01

申请号：DE69103054

申请日：1991-01-31

Applicant: IBM

Inventor： CUOMO JEROME JOHN ,  GUARNIERI CHARLES RICHARD ,  MACHLIN EUGENE SOLOMON ,  ROY RONNEN ANDREW ,  YEE DENNIS SEK-ON

IPC: C01B13/14 ,  C01G1/00 ,  C01G3/00 ,  C04B35/00 ,  C04B35/45 ,  C30B29/22 ,  H01B12/02 ,  H01B13/00 ,  H01L39/24 ,  H01B12/06 ,  C04B35/50