公开(公告)号：DE69206034T2

公开(公告)日：1996-06-20

申请号：DE69206034

申请日：1992-04-11

Applicant: IBM

Inventor： FRANKEL GERALD SIMON ,  KHANDROS IGOR Y ,  MADAKSON PETER BITRUS

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/14 ,  C23C14/48 ,  C23C14/58 ,  G01N27/72 ,  G01R33/09 ,  G11B5/31 ,  G11B5/39 ,  H01F10/08 ,  H01F10/14 ,  H01F10/32 ,  H01F41/14 ,  H01F41/32 ,  H01L43/12 ,  C23C14/08

公开(公告)号：DE69206034D1

公开(公告)日：1995-12-21

申请号：DE69206034

申请日：1992-04-11

Applicant: IBM

Inventor： FRANKEL GERALD SIMON ,  KHANDROS IGOR Y ,  MADAKSON PETER BITRUS

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/14 ,  C23C14/48 ,  C23C14/58 ,  G01N27/72 ,  G01R33/09 ,  G11B5/31 ,  G11B5/39 ,  H01F10/08 ,  H01F10/14 ,  H01F10/32 ,  H01F41/14 ,  H01F41/32 ,  H01L43/12 ,  C23C14/08