公开(公告)号：JPS58192035A

公开(公告)日：1983-11-09

申请号：JP4461983

申请日：1983-03-18

Applicant: Ibm

Inventor： MAIKERU HATSUTOZAKISU ,  JIYON JIYOSEFU RIYUUTOKASU ,  JIYURIJI ROSUTEISURABU PARAZUK ,  JIEEN MAAGARETSUTO SHIYAU

IPC: G03F7/26 ,  C08F12/00 ,  C08F12/16 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/038 ,  C08F12/16

公开(公告)号：JPS61226747A

公开(公告)日：1986-10-08

申请号：JP22793685

申请日：1985-10-15

Applicant: IBM

Inventor： EDOWAADO DAAKO BABITSUCHI ,  MAIKERU HATSUTOZAKISU ,  JIYON JIYOSEFU RIYUUTOKISU ,  JIYURI ROSUTEISURABU PARASUKUZ ,  JIEEN MAAGARETSUTO SHIYOU

IPC: G03C5/00 ,  C08F2/48 ,  C08F290/00 ,  C08F299/00 ,  C08F299/08 ,  C08K5/07 ,  C08L83/07 ,  G03F7/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JPS61107730A

公开(公告)日：1986-05-26

申请号：JP17444685

申请日：1985-08-09

Applicant: Ibm

Inventor： MAIKERU HATSUTOZAKISU ,  JIYURI ROSUTEISURABU PARASUKUZ ,  BENETSUTO ROBINSON

IPC: H01L21/302 ,  H01J37/32 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32357 ,  H05H1/46