公开(公告)号：JPS61219034A

公开(公告)日：1986-09-29

申请号：JP28953885

申请日：1985-12-24

Applicant: IBM

Inventor： EDOWAADO DAAKO BABITSUCHI ,  MAIKURU HATSUAKISU ,  SUKOTSUTO RORENSU JIEIKOBUZU ,  JIYURI ROSUTEISURABU PARAZUKAK ,  JIEIN MAAGARETSUTO SHIYOO ,  DEIBITSUDO FURANKU UITSUTOMAN

IPC: C08L61/00 ,  C08K5/549 ,  C08L33/00 ,  C08L33/02 ,  C08L61/04 ,  C08L61/06 ,  G03C1/00 ,  G03C1/72 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/26 ,  G03F7/38 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JPS61226747A

公开(公告)日：1986-10-08

申请号：JP22793685

申请日：1985-10-15

Applicant: IBM

Inventor： EDOWAADO DAAKO BABITSUCHI ,  MAIKERU HATSUTOZAKISU ,  JIYON JIYOSEFU RIYUUTOKISU ,  JIYURI ROSUTEISURABU PARASUKUZ ,  JIEEN MAAGARETSUTO SHIYOU

IPC: G03C5/00 ,  C08F2/48 ,  C08F290/00 ,  C08F299/00 ,  C08F299/08 ,  C08K5/07 ,  C08L83/07 ,  G03F7/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JPS60147732A

公开(公告)日：1985-08-03

申请号：JP19276284

申请日：1984-09-17

Applicant: IBM

Inventor： EDOWAADO DAAKO BABITSUCHI ,  MAIKERU HATOZAKISU ,  JIYURIJI ROSUTEISURABU PARASUZ ,  JIEEN MAAGARETSUTO SHIYOU

IPC: G03C1/72 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027