公开(公告)号：JPH0388819A

公开(公告)日：1991-04-15

申请号：JP10899690

申请日：1990-04-26

Applicant: IBM

Inventor： MARII ANJIEROPOUROSU ,  UU-SON HOWAN ,  RICHIYAADO DEIIN KAPURAN ,  MARII ANITSUKU RUKOORU ,  SUTANREE YUUJIIN PEREIARUTO ,  JIEIN MAAGARETSUTO SHIYOO ,  MISHIERU ROBEERU TEISHIE ,  JIYOOJI FUREDERITSUKU UOOKAA

IPC: G03F7/038 ,  C08F38/00 ,  C08G61/00 ,  C08G61/02 ,  C08G61/10 ,  C08G61/12 ,  C08G73/00 ,  C08G75/02 ,  C08G75/06 ,  C08K3/00 ,  C08K5/00 ,  C08L79/00 ,  C08L81/02 ,  H01B1/12 ,  H01J29/86 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  H01L23/498 ,  H01L23/60 ,  H05K1/09 ,  H05K9/00