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公开(公告)号：DE68926019T2
公开(公告)日：1996-10-02
申请号：DE68926019
申请日：1989-10-10
Applicant: IBM
Inventor： MERRITT DAVID PAUL , WOOD ROBERT LAVIN , MOREAU WAYNE MARTIN
IPC: C09D11/10 , C08F8/14 , G03F7/039 , H01L21/027
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公开(公告)号：DE68926019D1
公开(公告)日：1996-04-25
申请号：DE68926019
申请日：1989-10-10
Applicant: IBM
Inventor： MERRITT DAVID PAUL , WOOD ROBERT LAVIN , MOREAU WAYNE MARTIN
IPC: C09D11/10 , C08F8/14 , G03F7/039 , H01L21/027
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