公开(公告)号：DE69014359D1

公开(公告)日：1995-01-12

申请号：DE69014359

申请日：1990-02-03

Applicant: IBM

Inventor： HARAME DAVID L ,  MEYERSON BERNHARD S ,  STORK JOHANNES M C

IPC: H01L29/73 ,  H01L21/20 ,  H01L21/331 ,  H01L21/74 ,  H01L21/8222 ,  H01L21/8228 ,  H01L21/8238 ,  H01L21/8249 ,  H01L27/06 ,  H01L29/08 ,  H01L21/314 ,  H01L21/265 ,  H01L29/70

公开(公告)号：DE69014359T2

公开(公告)日：1995-05-24

申请号：DE69014359

申请日：1990-02-03

Applicant: IBM

Inventor： HARAME DAVID L ,  MEYERSON BERNHARD S ,  STORK JOHANNES M C

IPC: H01L29/73 ,  H01L21/20 ,  H01L21/331 ,  H01L21/74 ,  H01L21/8222 ,  H01L21/8228 ,  H01L21/8238 ,  H01L21/8249 ,  H01L27/06 ,  H01L29/08 ,  H01L21/314 ,  H01L21/265 ,  H01L29/70