公开(公告)号：DE68919290T2

公开(公告)日：1995-05-24

申请号：DE68919290

申请日：1989-07-03

Applicant: IBM

Inventor： BARD STEVEN LYNDZ ,  FEGER CLAUDIUS ,  GLENNING JOHN JOSEPH ,  HOUGHAM GARETH GEOFFREY ,  MOLIS STEVEN EARLE ,  PAWLOWSKI WALTER PAUL ,  RITSKO JOHN JAMES ,  SLOTA PETER ,  SNYDER RANDY WILLIAM

IPC: G03F7/26 ,  C08J7/12 ,  G03F7/40 ,  H01L21/306 ,  H01L21/311 ,  H05K1/03 ,  H05K3/00 ,  H05K3/10 ,  H01L21/31 ,  H01L21/768

公开(公告)号：DE68919290D1

公开(公告)日：1994-12-15

申请号：DE68919290

申请日：1989-07-03

Applicant: IBM

Inventor： BARD STEVEN LYNDZ ,  FEGER CLAUDIUS ,  GLENNING JOHN JOSEPH ,  HOUGHAM GARETH GEOFFREY ,  MOLIS STEVEN EARLE ,  PAWLOWSKI WALTER PAUL ,  RITSKO JOHN JAMES ,  SLOTA PETER ,  SNYDER RANDY WILLIAM

IPC: G03F7/26 ,  C08J7/12 ,  G03F7/40 ,  H01L21/306 ,  H01L21/311 ,  H05K1/03 ,  H05K3/00 ,  H05K3/10 ,  H01L21/31 ,  H01L21/90