公开(公告)号：DE69020852D1

公开(公告)日：1995-08-17

申请号：DE69020852

申请日：1990-08-17

Applicant: IBM

Inventor： PRICER WILBUR D ,  FAURE THOMAS B ,  MEYERSON BERNARD S ,  TURNBULL JOHN R ,  NESTORK WILLIAM

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/02 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/334 ,  H01L21/822 ,  H01L21/8242 ,  H01L27/00 ,  H01L27/04 ,  H01L27/06 ,  H01L27/10 ,  H01L27/108 ,  G11C11/36 ,  H01L27/102

公开(公告)号：DE69020852T2

公开(公告)日：1996-03-14

申请号：DE69020852

申请日：1990-08-17

Applicant: IBM

Inventor： PRICER WILBUR D ,  FAURE THOMAS B ,  MEYERSON BERNARD S ,  TURNBULL JOHN R ,  NESTORK WILLIAM

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/02 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/334 ,  H01L21/822 ,  H01L21/8242 ,  H01L27/00 ,  H01L27/04 ,  H01L27/06 ,  H01L27/10 ,  H01L27/108 ,  G11C11/36 ,  H01L27/102